Paglalarawan ng Produkto

Ang Semicorex Quartz Furnace Tube, Wafer Boats, Quartz Crucibles para sa Silicon Single Crystal Growth ay lahat ay gawa sa mataas na kadalisayanQuartz Material. Ang Quartz ay malawakang ginagamit sa industriya ng semiconductor, ang mataas na halaga ng kuwarts ay ang mahalagang maubos sa katha ng wafer. Ang pangunahing target na merkado ng mga bahagi ng kuwarts sa patlang ng semiconductor ay ang pagsasabog at proseso ng etching sa katha ng wafer, ay maaaring nahahati sa dalawang pangunahing kategorya: ang mga bahagi ng mataas na temperatura at mga bahagi ng mababang temperatura.

1. Ang mga bahagi ng temperatura ng temperatura ay quartz furnace tube, wafer boat, may hawak ng bangka, at atbp. Kailangan nilang direkta o hindi direktang makipag-ugnay sa silikon na wafer sa mataas na temperatura na kapaligiran, ay pangunahing ginawa ng fused quartz glass material, na ginawa sa pamamagitan ng thermal processing.

Ang mga sangkap sa high-temperatura zone ay mas mabilis na natupok, ngunit karaniwang ginagamit ito sa mga sistema ng multi-wafer (isang carrier na may hawak na maraming mga wafer ng silikon), habang ang mga sangkap sa mababang temperatura na zone ay kumonsumo nang mas mabagal, ngunit ginagamit ito sa mga solong-wafer system (isang carrier na may hawak na isang silicon wafer); Samakatuwid, ang pangkalahatang laki ng merkado para sa pareho ay medyo katulad.

Ang hurno ay ang lugar kung saan ang mga wafer ay sumasailalim sa isang mataas na temperatura na proseso ng pag-init, na binubuo ng quartz furnace tube, reaktor at ilang mga heaters, malawak itong inilalapat sa pagsasabog, oksihenasyon, mga proseso ng RTP sa pagproseso ng semiconductor. Ang hurno ay pangunahing nahahati sa mga pahalang at patayong uri :. Sa isang pahalang na hurno, ang mga wafer ay inilalagay sa isang quartz boat, na kung saan ay inilalagay sa isang SIC carrier. Mayroon ding mga adaptive na baffles sa harap at likod. Ang carrier ay itinulak sa tubo ng hurno ng kuwarts, at ang mga wafers ay sumailalim sa reaksyon sa isang palaging temperatura zone. Sa isang patayong hurno, ang mga wafer ay inilalagay sa isang quartz tower at pagkatapos ay dahan -dahang itinaas sa quartz furnace tube para sa pagproseso.

Dahil sa mataas na temperatura na kasangkot sa mga proseso sa itaas, upang maiwasan ang matinding pagpapapangit at pagbagsak ng tubo ng hurno ng kuwarts pagkatapos ng paulit -ulit at matagal na paggamit, isang quartz furnace tube na lumalaban sa pagpapapangit at pagbagsak at may mahabang buhay ng serbisyo ay dapat gamitin sa panahon ng paggawa.

Narito ang mga pakinabang ngQuartzTube ng pugon:

1. Mataas na paglaban sa temperatura. Ang Quartz Glass ay may paglambot na punto ng humigit-kumulang na 1730 ℃ at maaaring magamit para sa pinalawig na panahon sa 1150 ℃, na may isang panandaliang maximum na temperatura na umaabot sa 1450 ℃.

2. Paglaban sa Corrosion. Maliban sa hydrofluoric acid, ang high-purity quartz ay bahagya na gumanti ng chemically sa iba pang mga acidic na sangkap. Sa mataas na temperatura, maaari itong makatiis ng kaagnasan mula sa sulfuric acid, nitric acid, hydrochloric acid, aqua regia, neutral salts, carbon, at asupre. Ang pagtutol ng acid nito ay 30 beses na ng mga keramika at 150 beses na hindi kinakalawang na asero. Ang katatagan ng kemikal nito, lalo na sa mataas na temperatura, ay hindi katumbas ng anumang iba pang materyal sa engineering.

3. Magandang katatagan ng thermal. Ang high-purity quartz ay may napakababang koepisyent ng pagpapalawak ng thermal at maaaring makatiis sa mga pagbabago sa temperatura ng marahas. Ang pagpainit ng mataas na halaga ng kuwarts hanggang sa paligid ng 1100 ℃ at pagkatapos ay isawsaw ito sa temperatura ng temperatura ng silid ay hindi magiging sanhi ng pagkawasak.

4. Mahusay na pagganap ng paghahatid ng ilaw. Ang high-purity quartz ay may mahusay na pagganap ng paghahatid ng ilaw sa buong spectrum mula sa ultraviolet hanggang sa infrared. Ang nakikitang light transmittance ay higit sa 93%, at sa ultraviolet spectrum, ang maximum na transmittance ay maaaring umabot sa higit sa 80%.

5. Mahusay na pagganap ng pagkakabukod ng elektrikal. Ang resistivity ng high-purity quartz ay sampung libong beses na ng ordinaryong baso ng kuwarts, na ginagawa itong isang mahusay na materyal na pagkakabukod ng elektrikal, na nagtataglay ng mahusay na mga katangian ng elektrikal kahit na sa mataas na temperatura.