Semiconductor-Grade Quartz Diffusion Tubes

Mga bangkang kuwartsay kadalasang ginagamit sa mataas na temperatura, malupit na mga kondisyon ng pagpapatakbo ng kaagnasan ng kemikal. Sa panahon ng operasyon, ang mga semiconductor wafer ay inilalagay sa quartz boat at ipinasok sa quartz diffusion tube. Kapag ang diffusion tube ay umabot sa kinakailangang temperatura (ilang daan hanggang ilang libong degrees Celsius), ang mga proseso ng gas (hal., O₂, N₂, H₂, Ar) at dopant gases (hal., POCl₃, BBr₃) ay ipinapasok sa quartz diffusion tube sa pamamagitan ng gas ports upang maisagawa ang diffusion at anductoration. Bilang karagdagan, upang mapabuti ang pagkakapareho at katumpakan ng pagsasabog, ang ilang mga proseso ng pagsasabog ay kailangang isagawa sa isang kapaligiran na may mababang presyon. 

Sa mga advanced na proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor, ang anumang bahagyang pagkakamali o kakulangan sa mga prosesong ito ay maaaring humantong sa pagkabigo ng mga kasunod na proseso. Samakatuwid, bilang mga mahahalagang bahagi ng paggawa ng semiconductor, ang kalidad ng mga quartz diffusion tubes ay napakahalaga at direktang nakakaapekto sa ani at pagganap ng mga semiconductor device.

Ang Mga Pagtutukoy ng Semicorex Semiconductor-Grade Quartz

Ang mga semicorex semiconductor-grade quartz diffusion tubes ay maingat na ginawa mula sa mataas na kalidadsemiconductor-grade quartzmateryal. Ang mga sumusunod ay ang mga partikular na parameter nito:

Ang mga parameter ay maaaring ipasadya ayon sa mga kinakailangan ng customer.

Ang pagganap ng Semicorex Semiconductor-Grade Quartz Diffusion Tubes

Umaasa sa aming karanasan sa teknolohiya sa pagproseso at maaasahang pagpili ng materyal, Semicorex semiconductor-gradequartz diffusion tubesnagpapakita ng mahusay na pagganap sa ilalim ng mapaghamong mga kondisyon sa pagpapatakbo:

1. Pagganap ng paglaban sa mataas na temperatura

Ang mga semicorex semiconductor-grade quartz diffusion tubes ay naghahatid ng kahanga-hangang mataas na temperatura na resistensya, na nagbibigay-daan sa kanila na gumana nang matatag sa mga kapaligiran na may mataas na temperatura hanggang sa 1200 ℃ nang walang anumang deformation o pinsala.

2. Pagganap ng thermal stability

Ipinagmamalaki ang pambihirang koepisyent ng thermal expansion, ang Semicorex semiconductor-grade quartz diffusion tubes ay kayang tiisin ang thermal stress sa panahon ng mabilis na pag-init o paglamig nang hindi madaling mag-crack o deforming.

3. Pagganap ng paglaban sa kemikal

Ang mga semicorex semiconductor-grade quartz diffusion tubes ay naghahatid ng superyor na chemical inertness sa mataas na temperatura, malupit na corrosive na kapaligiran. Lubos na pinipigilan ng pagganap na ito ang mga contaminant na nabuo mula sa kanilang reaksyon sa mga proseso ng gas na makaapekto sa kalidad ng wafer.