SiC Coated Graphite Barrel Susceptor

Kung naghahanap ka ng high-performance na graphite susceptor para sa paggamit sa mga semiconductor manufacturing application, ang Semicorex SiC Coated Graphite Barrel Susceptor ay ang perpektong pagpipilian. Ang pambihirang thermal conductivity nito at mga katangian ng pamamahagi ng init ay ginagawa itong mapagpipilian para sa maaasahan at pare-parehong pagganap sa mataas na temperatura at kinakaing unti-unti na mga kapaligiran.

Magpadala ng Inquiry

Paglalarawan ng Produkto

Ang Semicorex SiC Coated Graphite Barrel Susceptor ay ang perpektong pagpipilian para sa mga aplikasyon ng pagmamanupaktura ng semiconductor na nangangailangan ng pambihirang pamamahagi ng init at thermal conductivity. Ang high-purity na SiC coating at superior density nito ay nagbibigay ng superyor na proteksyon at mga katangian ng pamamahagi ng init, na tinitiyak ang maaasahan at pare-parehong pagganap sa kahit na ang pinaka-mapanghamong kapaligiran.

Ang aming SiC Coated Graphite Barrel Susceptor ay idinisenyo upang makamit ang pinakamahusay na pattern ng daloy ng laminar gas, na tinitiyak ang pagiging pantay ng thermal profile. Nakakatulong ito upang maiwasan ang anumang kontaminasyon o pagkalat ng mga impurities, na tinitiyak ang mataas na kalidad na paglaki ng epitaxial sa wafer chip.

Makipag-ugnayan sa amin ngayon para matuto pa tungkol sa aming SiC Coated Graphite Barrel Susceptor.

Mga Parameter ng SiC Coated Graphite Barrel Susceptor

Pangunahing Pagtutukoy ng CVD-SIC Coating
Mga Katangian ng SiC-CVD
Istraktura ng Kristal	FCC β phase
Densidad	g/cm ³	3.21
Katigasan	Vickers tigas	2500
Sukat ng Butil	μm	2~10
Kadalisayan ng Kemikal	%	99.99995
Kapasidad ng init	J kg-1 K-1	640
Temperatura ng Sublimation	℃	2700
Lakas ng Felexural	MPa (RT 4-point)	415
Young's Modulus	Gpa (4pt bend, 1300℃)	430
Thermal Expansion (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Thermal conductivity	(W/mK)	300

Mga Tampok ng SiC Coated Graphite Barrel Susceptor

- Parehong ang graphite substrate at silicon carbide layer ay may magandang density at maaaring gumanap ng isang mahusay na proteksiyon na papel sa mataas na temperatura at kinakaing unti-unti na mga kapaligiran sa pagtatrabaho.

- Silicon carbide coated susceptor na ginagamit para sa solong paglaki ng kristal ay may napakataas na flatness sa ibabaw.

- Bawasan ang pagkakaiba sa thermal expansion coefficient sa pagitan ng graphite substrate at silicon carbide layer, epektibong mapabuti ang lakas ng bonding upang maiwasan ang pag-crack at delamination.

- Parehong ang graphite substrate at silicon carbide layer ay may mataas na thermal conductivity, at mahusay na mga katangian ng pamamahagi ng init.

- Mataas na punto ng pagkatunaw, mataas na temperatura na paglaban sa oksihenasyon, paglaban sa kaagnasan.