Sic inlet singsing

Ang mga singsing ng semicorex sic inlet ay mga mahahalagang sangkap sa mga sistema ng pagproseso ng semiconductor, lalo na sa mga epitaxial reaktor at kagamitan sa pag -aalis kung saan ang pagkakapareho ng gas at katatagan ng proseso ay nakakaapekto sa pagproseso ng wafer, kasama ang kalidad at pagganap ng aparato. Ang mga singsing ng inlet ng SIC ay idinisenyo upang makontrol ang pagpasok ng mga gas gas, na nagpapatatag ng mga kondisyon ng inlet nang tumpak habang nagbibigay ng pantay na daloy ng gas sa ibabaw ng mga ibabaw ng wafer na may paggalang sa temperatura at pagiging aktibo ng kemikal sa panahon ng pagproseso, lalo na sa mga nakataas na temperatura. Ang mga singsing na inlet ng SIC ay pinangunahan mula sa sobrang mataas na kadalisayan na silikon na karbida (sic), na nagpapahintulot sa kanila na maging nababanat sa thermal shock, paglaban sa kaagnasan, at kaunti sa walang henerasyon ng butil - isang mahalagang sangkap sa advanced na semiconductor na katha.

Ang punong bentahe ng silikon na karbida bilang isang materyal ay ang kakayahang makaranas ng matinding mga kondisyon ng thermal. Sa kaso ng paglaki ng epitaxial at iba pang mga proseso ng semiconductor, ang mga reaktor ay humahawak ng matagal na antas ng temperatura na maaaring lumampas sa mga tradisyunal na materyales. Ang mga singsing ng sic inlet ay maaaring thermally tiisin pagkatapos ng naturang matagal na temperatura, na walang pagpapapangit at lalo na walang warpage. Nagagawa nilang panatilihing matatag ang dimensionality upang maiwasan ang pagkagambala ng daloy ng pagkakapareho ng mga gas. Dagdag pa, ang paglaban ng temperatura ng mga singsing ng SIC inlet ay nagbibigay ng pantay na mga kondisyon ng mga proseso sa mahabang mga siklo ng pagpapatakbo. Ang kadahilanan na ito ay mahalaga para sa mataas na dami ng pagmamanupaktura pati na rin ang paggawa ng aparato.

Ang paglaban sa kemikal, bilang karagdagan sa katatagan ng thermal, ay isa pang mahalagang kalidad ngSicMga singsing na inlet. Ang mga proseso ng Semiconductor ay maaaring kasangkot sa mga reaktibo na gas tulad ng silane, hydrogen, at ammonia o kasangkot ang paggamit ng ilang mga chemistries na batay sa klorin. Ang mga materyales na nagpapatawad o nagpapabagal kapag nakalantad sa mga reaktibo na gas ay maaaring maging sanhi ng kontaminasyon ng mga wafer sa unang pagkakalantad at sa kalaunan ay humahantong sa isang pagkawala ng kahusayan ng isang proseso. Ang SIC ay nagbibigay ng mataas na pagtutol sa pag-atake ng kemikal, pagpapanatili ng isang inert na ibabaw na pinapanatili ang kalinisan ng radikal, pinipigilan ang kontaminasyon na uri ng butil, at pinalawak ang buhay ng serbisyo ng singsing ng inlet, habang pinapanatili ang integridad ng wafer, na humahantong sa mas mataas na ani at ibinaba ang mga depekto.

Ang katumpakan ng machining ay isa pang mahalagang pagsasaalang -alang sa pagganap ng isang singsing na inlet. Ang geometry ng singsing ay kritikal sa pagkontrol sa mga katangian ng daloy ng mga gas gas. Ang mga bahagyang hindi pagkakapare-pareho ay humantong sa hindi pantay na pamamahagi ng mga gas at humantong sa hindi pantay na paglaki ng pelikula o mga katangian ng doping sa mga wafer.Sic inlet singsingay ginawa gamit ang mga diskarte sa katumpakan, pagkamit ng malapit na pagpapaubaya, magandang flat, at mahusay na pagtatapos ng ibabaw. Ang aspeto ng katumpakan ng mga singsing ng inlet ay nagsisiguro na maulit, pantay na paghahatid ng mga gas sa silid ng proseso, na direktang nakakaapekto sa control control ng mga wafer.

Ang pagpapasadya ay isa pang makabuluhang bentahe ng mga singsing ng sic inlet. Dahil sa magkakaibang disenyo ng mga kagamitan at proseso ng semiconductor, ang bawat aplikasyon ay nangangailangan ng ibang sangkap na maayos na mapunan. Ang mga singsing ng inlet ng SIC ay maaaring makagawa sa iba't ibang laki, hugis, at mga uri, sa gayon natutugunan ang mga pangangailangan ng iba't ibang mga modelo at aplikasyon ng reaktor. Ang pagganap ay maaaring higit na mapabuti gamit ang iba't ibang mga paggamot sa ibabaw at buli para sa pinakamainam na pagganap, na nagbibigay sa mga customer ng isang natatanging solusyon na naaangkop sa kanilang kapaligiran sa paggawa.

Bilang karagdagan sa mga benepisyo sa teknikal, ang mga singsing ng sic inlet ay may mga benepisyo sa pagpapatakbo at pang -ekonomiya. Ang tibay laban sa thermal at kemikal na stress ay nangangahulugang mas kaunting mga kapalit at mas mababang mga gastos sa pagpapanatili na isinasalin sa mas kaunting downtime at consumable. Kapag sinusubukan na i-maximize ang throughput at dagdagan ang kahusayan sa isang semiconductor fab, ang mga singsing ng sic inlet ay nag-aalok ng isang pangmatagalang solusyon na epektibo sa gastos, habang pinapanatili ang kalidad ng proseso.

SemicorexSic inlet singsingPagsamahin ang mga advanced na katangian ng materyal na silikon na karbida na may engineered katumpakan upang maihatid ang pinahusay na pagganap para sa mga aplikasyon ng pagmamanupaktura ng semiconductor. Nagtatampok ng mataas na thermal-resistance, natitirang katatagan ng kemikal, at machining machining, ang mga singsing ng sic inlet ay idinisenyo upang mag-alok ng pagiging maaasahan sa kontrol ng daloy ng gas para sa mga high-tech na aplikasyon na may pangmatagalang tibay. Ang kontaminasyon-walang at napapasadyang, ang mga singsing ng sic inlet ay isang pangunahing sangkap para sa mga tela na nais mapanatili ang katatagan ng proseso, mataas na kahusayan, at ani para sa mga aparato. Sa pamamagitan ng pagpili ng mga singsing ng SIC inlet mula sa Semicorex, ang mga tagagawa ng semiconductor ay nagtatrabaho sa isang napatunayan na solusyon na idinisenyo upang matugunan ang mga hinihingi ng mga pinakamahirap na proseso sa pagmamanupaktura ng semiconductor.