Ang SiC coating ay isang manipis na layer papunta sa susceptor sa pamamagitan ng chemical vapor deposition (CVD) na proseso. Ang materyal na Silicon carbide ay nagbibigay ng ilang mga bentahe kaysa sa silikon, kabilang ang 10x na pagkasira ng lakas ng electric field, 3x ang band gap, na nagbibigay ng materyal na may mataas na temperatura at paglaban sa kemikal, mahusay na paglaban sa pagsusuot pati na rin ang thermal conductivity.
Ang Semicorex ay nagbibigay ng customized na serbisyo, tulungan kang mag-innovate sa mga bahagi na mas tumatagal, bawasan ang cycle ng mga oras, at mapabuti ang mga ani.
Ang SiC coating ay nagtataglay ng ilang natatanging pakinabang
Mataas na Paglaban sa Temperatura: Ang CVD SiC coated susceptor ay maaaring makatiis sa mataas na temperatura hanggang sa 1600°C nang hindi dumaranas ng makabuluhang thermal degradation.
Paglaban sa Kemikal: Ang silicon carbide coating ay nagbibigay ng mahusay na pagtutol sa malawak na hanay ng mga kemikal, kabilang ang mga acid, alkalis, at mga organikong solvent.
Wear Resistance: Ang SiC coating ay nagbibigay ng materyal na may mahusay na wear resistance, na ginagawa itong angkop para sa mga application na may mataas na pagkasira.
Thermal Conductivity: Ang CVD SiC coating ay nagbibigay ng materyal na may mataas na thermal conductivity, ginagawa itong angkop para sa paggamit sa mga application na may mataas na temperatura na nangangailangan ng mahusay na paglipat ng init.
Mataas na Lakas at Katigasan: Ang silicon carbide coated susceptor ay nagbibigay ng materyal na may mataas na lakas at higpit, na ginagawa itong angkop para sa mga application na nangangailangan ng mataas na mekanikal na lakas.
Ang SiC coating ay ginagamit sa iba't ibang aplikasyon
LED Manufacturing: Ginagamit ang CVD SiC coated susceptor sa pagmamanupaktura na naproseso ng iba't ibang uri ng LED, kabilang ang asul at berdeng LED, UV LED at deep-UV LED, dahil sa mataas nitong thermal conductivity at chemical resistance.
Komunikasyon sa mobile: Ang CVD SiC coated susceptor ay isang mahalagang bahagi ng HEMT upang makumpleto ang proseso ng epitaxial ng GaN-on-SiC.
Pagproseso ng Semiconductor: Ginagamit ang CVD SiC coated susceptor sa industriya ng semiconductor para sa iba't ibang aplikasyon, kabilang ang pagpoproseso ng wafer at paglaki ng epitaxial.
Mga bahagi ng grapayt na pinahiran ng SiC
Ginawa ng Silicon Carbide Coating (SiC) graphite, ang coating ay inilapat sa pamamagitan ng isang CVD method sa mga partikular na grado ng high density graphite, kaya maaari itong gumana sa high temperature furnace na may higit sa 3000 °C sa isang inert atmosphere, 2200°C sa vacuum .
Ang mga espesyal na katangian at mababang masa ng materyal ay nagbibigay-daan sa mabilis na mga rate ng pag-init, pare-parehong pamamahagi ng temperatura at natitirang katumpakan sa kontrol.
Data ng materyal ng Semicorex SiC Coating
Mga tipikal na katangian |
Mga yunit |
Mga halaga |
Istruktura |
|
FCC β phase |
Oryentasyon |
Fraction (%) |
111 ang gusto |
Bulk density |
g/cm³ |
3.21 |
Katigasan |
Vickers tigas |
2500 |
Kapasidad ng init |
J kg-1 K-1 |
640 |
Thermal expansion 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Young's Modulus |
Gpa (4pt bend, 1300℃) |
430 |
Sukat ng Butil |
μm |
2~10 |
Temperatura ng Sublimation |
℃ |
2700 |
Lakas ng Felexural |
MPa (RT 4-point) |
415 |
Thermal conductivity |
(W/mK) |
300 |
Konklusyon Ang CVD SiC coated susceptor ay isang composite material na pinagsasama ang mga katangian ng isang susceptor at silicon carbide. Ang materyal na ito ay nagtataglay ng mga natatanging katangian, kabilang ang mataas na temperatura at paglaban sa kemikal, mahusay na paglaban sa pagsusuot, mataas na thermal conductivity, at mataas na lakas at higpit. Ginagawa nitong isang kaakit-akit na materyal ang mga katangiang ito para sa iba't ibang mga application na may mataas na temperatura, kabilang ang pagproseso ng semiconductor, pagproseso ng kemikal, paggamot sa init, paggawa ng solar cell, at pagmamanupaktura ng LED.
Ang RTP Graphite Carrier Plate ng Semicorex ay ang perpektong solusyon para sa mga aplikasyon ng pagpoproseso ng semiconductor wafer, kabilang ang epitaxial growth at pagpoproseso ng wafer handling. Ang aming produkto ay idinisenyo upang mag-alok ng mahusay na paglaban sa init at pagkakapareho ng thermal, na tinitiyak na ang mga epitaxy susceptor ay napapailalim sa kapaligiran ng pag-deposition, na may mataas na init at paglaban sa kaagnasan.
Magbasa paMagpadala ng InquiryAng Semicorex RTP SiC Coating Carrier ay nag-aalok ng mahusay na paglaban sa init at pagkakapareho ng thermal, na ginagawa itong perpektong solusyon para sa mga aplikasyon ng pagproseso ng semiconductor wafer. Gamit ang mataas na kalidad na SiC coated graphite, ang produktong ito ay idinisenyo upang mapaglabanan ang pinakamahirap na kapaligiran sa pag-deposito para sa epitaxial growth. Ang mataas na thermal conductivity at mahusay na mga katangian ng pamamahagi ng init ay nagsisiguro ng maaasahang pagganap para sa RTA, RTP, o malupit na paglilinis ng kemikal.
Magbasa paMagpadala ng InquiryAng Semicorex RTP/RTA SiC Coating Carrier ay inengineered upang makayanan ang pinakamahirap na kondisyon ng kapaligiran ng deposition. Sa mataas na init at paglaban sa kaagnasan, ang produktong ito ay idinisenyo upang magbigay ng pinakamainam na pagganap para sa paglaki ng epitaxial. Ang SiC coated carrier ay may mataas na thermal conductivity at mahusay na mga katangian ng pamamahagi ng init, na tinitiyak ang maaasahang pagganap para sa RTA, RTP, o malupit na paglilinis ng kemikal.
Magbasa paMagpadala ng InquiryAng Semicorex SiC Graphite RTP Carrier Plate para sa MOCVD ay nag-aalok ng superior heat resistance at thermal uniformity, na ginagawa itong perpektong solusyon para sa semiconductor wafer processing applications. Sa isang de-kalidad na SiC coated graphite, ang produktong ito ay inengineered upang mapaglabanan ang pinakamasakit na kapaligiran ng deposition para sa epitaxial growth. Ang mataas na thermal conductivity at mahusay na mga katangian ng pamamahagi ng init ay nagsisiguro ng maaasahang pagganap para sa RTA, RTP, o malupit na paglilinis ng kemikal.
Magbasa paMagpadala ng InquiryAng Semicorex SiC Coated RTP Carrier Plate para sa Epitaxial Growth ay ang perpektong solusyon para sa mga aplikasyon ng pagproseso ng semiconductor wafer. Gamit ang mataas na kalidad na carbon graphite susceptors at quartz crucibles na pinoproseso ng MOCVD sa ibabaw ng graphite, ceramics, atbp., ang produktong ito ay perpekto para sa paghawak ng wafer at pagpoproseso ng epitaxial growth. Tinitiyak ng SiC coated carrier ang mataas na thermal conductivity at mahusay na mga katangian ng pamamahagi ng init, na ginagawa itong maaasahang pagpipilian para sa RTA, RTP, o malupit na paglilinis ng kemikal.
Magbasa paMagpadala ng InquiryAng Semicorex ay isang malakihang tagagawa at supplier ng Silicon Carbide Coated Graphite Susceptor sa China. Ang Semicorex graphite susceptor ay partikular na ginawa para sa epitaxy equipment na may mataas na init at corrosion resistance sa China. Ang aming RTP RTA SiC Coated Carrier ay may magandang bentahe sa presyo at sumasaklaw sa marami sa mga European at American market. Inaasahan naming maging iyong pangmatagalang kasosyo.
Magbasa paMagpadala ng Inquiry