Ang Silicon Etch Plate ng Semicorex para sa PSS Etching Applications ay isang de-kalidad, ultra-pure graphite carrier na partikular na idinisenyo para sa epitaxial growth at mga proseso ng paghawak ng wafer. Ang aming carrier ay maaaring makatiis sa malupit na kapaligiran, mataas na temperatura, at malupit na paglilinis ng kemikal. Ang silicon etch plate para sa PSS etching application ay may mahusay na mga katangian ng pamamahagi ng init, mataas na thermal conductivity, at cost-effective. Ang aming mga produkto ay malawakang ginagamit sa maraming European at American market, at inaasahan naming maging iyong pangmatagalang kasosyo sa China.
Ang Silicon Etch Plate ng Semicorex para sa PSS Etching Applications ay inengineered para sa pinaka-hinihingi na epitaxy equipment application. Ang aming ultra-pure graphite carrier ay makatiis sa malupit na kapaligiran, mataas na temperatura, at malupit na paglilinis ng kemikal. Ang SiC coated carrier ay may mahusay na mga katangian ng pamamahagi ng init, mataas na thermal conductivity, at cost-effective.
Mga Parameter ng Silicon Etch Plate para sa PSS Etching Applications
Pangunahing Pagtutukoy ng CVD-SIC Coating |
||
Mga Katangian ng SiC-CVD |
||
Istraktura ng Kristal |
FCC β phase |
|
Densidad |
g/cm ³ |
3.21 |
Katigasan |
Vickers tigas |
2500 |
Sukat ng Butil |
μm |
2~10 |
Kadalisayan ng Kemikal |
% |
99.99995 |
Kapasidad ng init |
J kg-1 K-1 |
640 |
Temperatura ng Sublimation |
℃ |
2700 |
Lakas ng Felexural |
MPa (RT 4-point) |
415 |
Young's Modulus |
Gpa (4pt bend, 1300℃) |
430 |
Thermal Expansion (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Thermal conductivity |
(W/mK) |
300 |
Mga Tampok ng Silicon Etch Plate para sa PSS Etching Applications
- Iwasan ang pagbabalat at tiyakin ang patong sa lahat ng ibabaw
Mataas na temperatura na paglaban sa oksihenasyon: Matatag sa mataas na temperatura hanggang sa 1600°C
Mataas na kadalisayan: ginawa ng CVD chemical vapor deposition sa ilalim ng mataas na temperatura na mga kondisyon ng chlorination.
Corrosion resistance: mataas na tigas, siksik na ibabaw at pinong mga particle.
Corrosion resistance: acid, alkali, asin at organic reagents.
- Makamit ang pinakamahusay na pattern ng daloy ng laminar gas
- Garantiyahin ang pagkapantay ng thermal profile
- Pigilan ang anumang kontaminasyon o pagkalat ng mga impurities