Susceptors para sa MOCVD Reactors

Ang Mga Susceptor ng Semicorex para sa Mga Reaktor ng MOCVD ay mga de-kalidad na produkto na ginagamit sa industriya ng semiconductor para sa iba't ibang mga aplikasyon tulad ng mga silicon carbide layer at epitaxy semiconductor. Available ang aming produkto sa hugis ng gear o singsing at idinisenyo upang makamit ang mataas na temperatura na paglaban sa oksihenasyon, na ginagawa itong matatag sa mga temperatura hanggang 1600°C.

Magpadala ng Inquiry

Paglalarawan ng Produkto

Ang aming Susceptors para sa MOCVD Reactors ay ginawa sa pamamagitan ng CVD chemical vapor deposition sa ilalim ng mataas na temperatura na mga kondisyon ng chlorination, na tinitiyak ang mataas na kadalisayan. Ang ibabaw ng produkto ay siksik, na may mga pinong particle at mataas na tigas, na ginagawa itong lumalaban sa kaagnasan sa acid, alkali, asin, at mga organic na reagents.
Ang aming mga Susceptors para sa MOCVD Reactors ay idinisenyo upang matiyak ang patong sa lahat ng mga ibabaw, pag-iwas sa pagbabalat, at pagkamit ng pinakamahusay na pattern ng daloy ng laminar gas. Ginagarantiyahan ng produkto ang pagkapantay-pantay ng thermal profile at pinipigilan ang anumang kontaminasyon o pagkalat ng mga dumi sa panahon ng proseso, na tinitiyak ang mataas na kalidad na mga resulta.
Sa Semicorex, inuuna namin ang kasiyahan ng customer at nagbibigay ng mga solusyon na matipid. Inaasahan naming maging iyong pangmatagalang kasosyo, na naghahatid ng mga de-kalidad na produkto at pambihirang serbisyo sa customer.

Mga Parameter ng Susceptors para sa MOCVD Reactors

Pangunahing Detalye ng CVD-SIC Coating
Mga Katangian ng SiC-CVD
Istraktura ng Kristal	FCC Î² phase
Densidad	g/cm ³	3.21
Katigasan	Vickers tigas	2500
Sukat ng Butil	Î¼m	2~10
Kalinisan ng Kemikal	%	99.99995
Kapasidad ng init	J·kg-1 ·K-1	640
Temperatura ng Sublimation	℃	2700
Lakas ng Felexural	MPa (RT 4-point)	415
Youngâ s Modulus	Gpa (4pt bend, 1300â)	430
Thermal Expansion (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Thermal conductivity	(W/mK)	300

Mga Tampok ng SiC Coated Graphite Susceptor para sa MOCVD

- Iwasan ang pagbabalat at tiyakin ang patong sa lahat ng ibabaw
Mataas na temperatura na paglaban sa oksihenasyon: Matatag sa mataas na temperatura hanggang sa 1600°C
Mataas na kadalisayan: ginawa ng CVD chemical vapor deposition sa ilalim ng mataas na temperatura na mga kondisyon ng chlorination.
Corrosion resistance: mataas na tigas, siksik na ibabaw at pinong mga particle.
Corrosion resistance: acid, alkali, asin at organic reagents.
- Makamit ang pinakamahusay na pattern ng daloy ng laminar gas
- Garantiyahin ang pagkapantay ng thermal profile
- Pigilan ang anumang kontaminasyon o pagkalat ng mga impurities