1x2" Graphite Wafer Susceptors

Sa semiconductor wafer fabrication, ang epitaxial layer ay kinakailangang lumaki sa wafer substrate para sa kasunod na paggawa ng mga semiconductor device. Dahil ang proseso ng paglago ng epitaxial ay lubos na sensitibo sa mga pagbabago sa temperatura at kontaminasyon, ang mga pagpipilian ng maaasahangwafer susceptorsay kritikal na mahalaga. Bilang kailangang-kailangan na sumusuporta sa mga bahagi sa proseso ng wafer epitaxial, ang katumpakan ng machining, kakayahan sa pamamahala ng thermal, at pagganap ng paglaban sa kontaminasyon ay mga mahalagang salik sa pagkamit ng mataas na kalidad na paglaki ng wafer epitaxial.

Ang mga function ng Semicorex 1x2" graphite wafer susceptors

Ginawa mula sa ultra-fine grain, high-purity graphite bilang kanilang matrix na may siksik na silicon carbide coating sa pamamagitan ng mga espesyal na proseso, ang Semicorex 1x2" graphite wafer susceptors ay naghahatid ng mga sumusunod na function:

1.Secure at Stale na hawak

Semicorex 1x2"grapaytNagtatampok ang mga wafer susceptor ng precision machining at treatment, na naghahatid ng pambihirang flatness sa ibabaw at katumpakan ng dimensional. Tinitiyak nito na sila ay matatag na naka-secure sa isang angkop na posisyon at nagbibigay ng isang matatag, patag na platform ng suporta para sa wafer epitaxial growth.

2. Precision Uniform Heat Distribution

Sa mahusay na thermal conductivity ng graphite at SiC na mga materyales, ang Semicorex 1x2" graphite wafer susceptors ay nagbibigay ng mabilis at pare-parehong pamamahagi ng init sa kabuuan ng semiconductor substance. Sa pamamagitan ng pagliit ng mga gradient ng temperatura, ang Semicorex 1x2" graphite wafer susceptors ay epektibong makakaiwas sa mga isyu tulad ng hindi pantay na kalidad ng epitaxial at konsentrasyon ng stress.

Ang mga bentahe ng Semicorex silikon carbide coating

1.Superior kaagnasan pagtutol

Tinatakpan ng siksik na silicon carbide coating, ang Semicorex 1x2" graphite wafer susceptor ay epektibong lumalaban sa karamihan ng mga kemikal, ginagamit ang mga ito na angkop para sa mga aplikasyon sa napaka-corrosive na mga kondisyon ng operating kung saan ang materyal ay madalas na nakalantad sa mga corrosive na gas at chemical vapor.

2. Mababang pagbubuhos ng butil

Semicorexsilikon carbide coatingay may mataas na lakas ng pagbubuklod sa graphite matrix, na maaaring makabuluhang maiwasan ang panganib ng kontaminasyon ng substrate dahil sa coating detachment dahil sa corrosion at particle fallout na dulot ng mga high-corrosion na kapaligiran.

3.Maaasahang buhay ng serbisyo

Bagaman ang mga graphite matrix ay nagpapakita ng mahusay na thermal stability at mekanikal na lakas, ito ay madaling kapitan ng kaagnasan at pagkapulbos sa ilalim ng mga kondisyon ng operating ng epitaxial na proseso, lubos na nagpapaikli sa habang-buhay ng mga uncoated graphite matrixes. Sa pamamagitan ng ganap na pag-encapsulate ng mga graphite matrix na may mga siksik na SiC coating, ang aming 1×2" graphite wafer susceptors ay nakakamit ng mas mahusay at maaasahang tibay.

Data ng materyal ng Semicorex SiC Coating