Pahalang na Quartz Wafer Boats

Pahalang na quartz wafer bangkakaraniwang humahawak ng mga semiconductor wafer nang pahalang sa loob ng mga tubo ng furnace ng mga kagamitan sa paggamot sa init, na pinainit ng mga panlabas na kagamitan sa pag-init. Malawakang ginagamit ang mga ito sa paghingi ng mataas na temperatura na corrosive semiconductor heat treatment na proseso, tulad ng thermal oxidation, high-temperature diffusion, annealing, at chemical vapor deposition (CVD) na mga proseso.

Ang mga function ng Semicorex horizontal quartz wafer boats

1. Matatag na paghawak at pag-secure

Ang mga semicorex horizontal quartz wafer boat ay may mahusay na kapasidad na nagdadala ng pagkarga at maaaring patuloy na mag-alok ng matatag na suporta para sa maramihang mga semiconductor wafer. At tinitiyak ng kanilang na-optimize na panlabas na disenyo at tiyak na istraktura ng slot ang bawat isaostiyaay ganap na angkop at mahigpit na naka-secure sa pahalang na quartz wafer boat, na makabuluhang binabawasan ang mga gasgas at banggaan ng wafer na dulot ng pagyanig, pag-aalis, at pagkiling sa panahon ng mga proseso ng transportasyon at pagmamanupaktura.

2. Proseso ng pagkakapareho ng tulong

Ang equal spacing slot structure ng horizontal quartz wafer boats ay nagbibigay-daan para sa maayos na paglalagay ng semiconductor wafers, kaya lumilikha ng isang matatag at maayos na field ng daloy ng gas sa mga high-temperature furnace. Ang structural na disenyo ay nakakamit ng pare-parehong gas contact at reaction rate sa bawat wafer surface, sa gayon ay epektibong binabawasan ang iba't ibang depekto na dulot ng hindi pantay na pag-init at differential gas contact, tulad ng hindi kumpletong oksihenasyon ng wafer, hindi pantay na thin-film deposition, at doping concentration deviation.

3. Pangmatagalang buhay ng serbisyo

Salamat sa superior high-temperature resistance ng quartz material, ang Semicorex horizontal quartz wafer boats ay kayang makatiis sa mataas na temperatura na 1100-1200℃ sa loob ng mahabang panahon nang walang deformation o natutunaw.Kuwartsay chemically inert sa mga gas na karaniwang ginagamit sa mga proseso ng semiconductor, tulad ng oxygen, nitrogen, at hydrogen chloride. Ang pambihirang kawalang-kilos ng kemikal na ito ay maaaring mabawasan ang panganib ng kaagnasan mula sa mga gas ng proseso, na lubos na nagpapahaba ng buhay ng serbisyo at binabawasan ang oras at gastos sa pagpapalit ng kagamitan.