Gaano kahalaga ang Silicon Carbide Wafer Boats?

Sa paggawa ng semiconductor, bukod sa mga pangunahing kagamitan sa proseso tulad ng photolithography at pag-ukit, ang isa pang uri ng pangunahing sangkap ay gumaganap ng isang mahalagang papel sa katatagan ng proseso: angbangkang ostiya.

Lalo na sa mga nakaraang taon, sa pag-unlad ng mga proseso ng mataas na temperatura at mga semiconductor ng ikatlong henerasyon, ang mga silicon carbide wafer boat, na gawa sa silicon carbide, ay tahimik na nagiging pamantayan ng industriya.

Kaya, ano ang papel na ginagampanan ng tila hindi gaanong mahalagang sangkap na ito sa paggawa ng semiconductor?

01 Mga Pangunahing Pag-andar ng Wafer Boat

Ang wafer boat ay isang process carrier na ginagamit upang hawakan ang mga wafer, na pangunahing ginagamit sa mga kagamitan sa pagpoproseso na may mataas na temperatura.

Sa proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor, ang mga wafer ay sumasailalim sa maramihang mga hakbang sa pagproseso ng thermal, tulad ng diffusion, oxidation, annealing, at chemical vapor deposition (CVD). Sa panahon ng mga prosesong ito, ang mga wafer ay kadalasang pinoproseso nang batch sa mga kagamitan sa furnace tube, at ang wafer boat ay nagsisilbi sa mga sumusunod na function:

- Pagsuporta sa maramihang mga wafer at pagpapanatili ng isang matatag na espasyo

- Tinitiyak ang katatagan ng posisyon ng mga wafer sa mga kapaligirang may mataas na temperatura

- Tinitiyak ang pare-parehong daloy ng gas kasabay ng kagamitan

Ang istraktura at materyal na katangian ng wafer boat ay direktang nakakaapekto sa thermal field distribution at process consistency.

02 Mga Structural na Katangian ng Silicon Carbide Boats

Silicon carbide boatkaraniwang gumagamit ng disenyo ng frame, na nag-aalok ng mataas na katatagan ng istruktura. Kasama sa mga karaniwang tampok ang:

- Multi-layer na istraktura ng slot para sa tumpak na pagpoposisyon ng wafer

- Buksan ang disenyo para sa madaling daloy ng gas sa pagitan ng mga wafer

- Mataas na tigas na frame upang mabawasan ang panganib ng pagpapapangit sa mataas na temperatura

Depende sa uri ng kagamitan, ang mga bangka ay maaaring idisenyo bilang patayo o pahalang na istruktura at suportahan ang iba't ibang laki ng wafer (hal., 6-pulgada, 8-pulgada, 12-pulgada).

03 Pagpili ng Materyal: BakitSilicon Carbide?

Habang umuunlad ang mga proseso ng semiconductor patungo sa mas mataas na temperatura at mas mataas na kalinisan, ang mga tradisyonal na materyales tulad ng quartz at alumina ay lalong hindi sapat. Sa kaibahan, ang silicon carbide ay nag-aalok ng mga pakinabang sa ilang mga sukat ng pagganap.

1. High-Temperature Resistance: Ang Silicon carbide ay nagpapakita ng magandang structural stability sa hanay ng temperatura na humigit-kumulang 1200 ℃ hanggang 1400 ℃. Sa ilalim ng ilang partikular na high-purity o espesyal na kondisyon ng proseso, maaari itong magamit sa mas mataas na temperatura na kapaligiran. Hindi ito nagpapakita ng pagkatunaw o makabuluhang paglambot na phenomena na katulad ng mga metal na materyales sa mataas na temperatura.

2. Mataas na Thermal Conductivity: Ang Silicon carbide ay nagtataglay ng mataas na thermal conductivity, na nakakatulong na bawasan ang mga pagkakaiba sa temperatura sa pagitan ng mga wafer, at sa gayon ay nagpapabuti sa pagkakapare-pareho ng proseso.

3. Mababang Coefficient ng Thermal Expansion: Ang Silicon carbide ay may mababang koepisyent ng thermal expansion, na binabawasan ang epekto ng thermal stress sa mga wafer sa panahon ng mga proseso ng pag-init at paglamig.

4. Katatagan ng Kemikal: Ang Silicon carbide ay nagpapakita ng mahusay na katatagan ng kemikal sa iba't ibang mga atmospheres, kabilang ang pag-oxidize at pagbabawas ng mga atmospheres. Gayunpaman, sasailalim pa rin ito sa mabagal na reaksyon ng oksihenasyon sa mga kapaligirang may mataas na temperatura ng oxygen, na bubuo ng silicon dioxide protective layer.

5. Kadalisayan ng Materyal at Pagkontrol sa Kontaminasyon: Karaniwang mahigpit na kinokontrol ng semiconductor-grade na silicon carbide ang impurity content upang mabawasan ang panganib ng kontaminasyon sa ibabaw ng wafer. May mga makabuluhang pagkakaiba sa pagitan ng mga materyales na ginamit sa iba't ibang grado ng proseso.

04 Mga Lugar ng Aplikasyon

Ang mga Silicon carbide boat ay kasalukuyang malawakang ginagamit sa maraming larangan, kabilang ang:

- Thermal processing sa integrated circuit manufacturing

- Paggawa ng power semiconductor device (hal., SiC device)

- Pagproseso ng mataas na temperatura ng mga photovoltaic na silicon na wafer

- Materyal na semiconductor at proseso ng pananaliksik at pag-unlad

Ang mga bentahe nito ay mas malinaw sa mga sitwasyong nangangailangan ng mataas na temperatura, malakas na kaagnasan, o mataas na kalinisan.

Mga alok ng SemicorexSiC wafer bangka, mga tubo ng pugon, mga sagwan ng cantilever, atbp sa mga hurno na may mataas na temperatura. Kung mayroon kang anumang mga katanungan o kailangan ng karagdagang mga detalye, mangyaring huwag mag-atubiling makipag-ugnayan sa amin.

Makipag-ugnayan sa telepono # +86-13567891907

Email: sales@semicorex.com