RTP RTA SiC Coated Carrier

Ang Semicorex ay nagbibigay ng RTP RTA SiC Coated Carrier na ginagamit upang suportahan ang mga wafer, na talagang matatag para sa RTA, RTP o malupit na paglilinis ng kemikal. Ang RTP RTA SiC Coated Carrier na may high-purity silicon carbide (SiC) coated graphite construction ay nagbibigay ng superior heat resistance, kahit thermal uniformity para sa pare-parehong kapal at resistensya ng epi layer, at matibay na chemical resistance. Ang pinong SiC crystal coating ay nagbibigay ng malinis, makinis na ibabaw, kritikal para sa paghawak dahil ang mga malinis na wafer ay nakikipag-ugnayan sa susceptor sa maraming punto sa kanilang buong lugar.
Sa Semicorex, tumutuon kami sa pagbibigay ng mataas na kalidad, cost-effective na RTP RTA SiC Coated Carrier, inuuna namin ang kasiyahan ng customer at nagbibigay ng mga cost-effective na solusyon. Inaasahan naming maging iyong pangmatagalang kasosyo, na naghahatid ng mga de-kalidad na produkto at pambihirang serbisyo sa customer.

Mga Parameter ng RTP RTA SiC Coated Carrier

Mga tampok ng RTP RTA SiC Coated Carrier

- Parehong ang graphite substrate at silicon carbide layer ay may magandang density at maaaring gumanap ng isang mahusay na proteksiyon na papel sa mataas na temperatura at kinakaing unti-unti na mga kapaligiran sa pagtatrabaho.
- Silicon carbide coated susceptor na ginagamit para sa solong paglaki ng kristal ay may napakataas na flatness sa ibabaw.
- Bawasan ang pagkakaiba sa thermal expansion coefficient sa pagitan ng graphite substrate at silicon carbide layer, epektibong mapabuti ang lakas ng bonding upang maiwasan ang pag-crack at delamination.
- Parehong ang graphite substrate at silicon carbide layer ay may mataas na thermal conductivity, at mahusay na mga katangian ng pamamahagi ng init.
- Mataas na punto ng pagkatunaw, mataas na temperatura na paglaban sa oksihenasyon, paglaban sa kaagnasan.