SiC Graphite RTP Carrier Plate para sa MOCVD

Ang Semicorex SiC Graphite RTP Carrier Plate para sa MOCVD ay nag-aalok ng superior heat resistance at thermal uniformity, na ginagawa itong perpektong solusyon para sa semiconductor wafer processing applications. Sa isang de-kalidad na SiC coated graphite, ang produktong ito ay inengineered upang mapaglabanan ang pinakamasakit na kapaligiran ng deposition para sa epitaxial growth. Ang mataas na thermal conductivity at mahusay na mga katangian ng pamamahagi ng init ay nagsisiguro ng maaasahang pagganap para sa RTA, RTP, o malupit na paglilinis ng kemikal.

Magpadala ng Inquiry

Paglalarawan ng Produkto

Ang aming SiC Graphite RTP Carrier Plate para sa MOCVD para sa MOCVD Epitaxial Growth ay ang perpektong solusyon para sa paghawak ng wafer at pagproseso ng epitaxial growth. Na may makinis na ibabaw at mataas na tibay laban sa paglilinis ng kemikal, tinitiyak ng produktong ito ang maaasahang pagganap sa malupit na mga kapaligiran ng deposition.
Ang materyal ng aming SiC graphite RTP carrier plate para sa MOCVD ay inengineered para maiwasan ang mga bitak at delamination, habang ang superyor na heat resistance at thermal uniformity ay nagsisiguro ng pare-parehong performance para sa RTA, RTP, o malupit na paglilinis ng kemikal.
Makipag-ugnayan sa amin ngayon para matuto pa tungkol sa aming SiC Graphite RTP Carrier Plate para sa MOCVD.

Mga Parameter ng SiC Graphite RTP Carrier Plate para sa MOCVD

Pangunahing Pagtutukoy ng CVD-SIC Coating
Mga Katangian ng SiC-CVD
Istraktura ng Kristal	FCC β phase
Densidad	g/cm ³	3.21
Katigasan	Vickers tigas	2500
Sukat ng Butil	μm	2~10
Kadalisayan ng Kemikal	%	99.99995
Kapasidad ng init	J kg-1 K-1	640
Temperatura ng Sublimation	℃	2700
Lakas ng Felexural	MPa (RT 4-point)	415
Young's Modulus	Gpa (4pt bend, 1300℃)	430
Thermal Expansion (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Thermal conductivity	(W/mK)	300

Mga tampok ng SiC Graphite RTP Carrier Plate para sa MOCVD

Mataas na kadalisayan na SiC coated graphite
Superior na paglaban sa init at pagkakapareho ng thermal
Pinong SiC crystal na pinahiran para sa makinis na ibabaw
Mataas na tibay laban sa paglilinis ng kemikal
Ang materyal ay idinisenyo upang hindi mangyari ang mga bitak at delamination.