SiC-Coated Graphite Wafer Susceptors

Ang Semicorex SiC-coated graphite wafer susceptors ay ang kailangang-kailangan na graphite wafer carrier na sakop ng isang siksik at pare-parehong CVD SiC coating, na partikular na inengineered para sa high-end na semiconductor na MOCVD epitaxial growth system. Ang pagpili sa Semicorex ay nangangahulugan na makakakuha ka ng cost-effective na pagpepresyo, superyor na kalidad ng produkto, at isang maaasahang karanasan sa serbisyo.

Magpadala ng Inquiry

Paglalarawan ng Produkto

Semicorex SiC-coated graphitewafer susceptorsay ang mga bahaging hugis disc, na malawakang ginagamit sa mga rotary na MOCVD system upang suportahan at magpainit ng mga wafer. Mapapadali nila ang pare-parehong pamamahagi ng gas at pare-parehong pamamahagi ng init sa mga silid ng reaksyon, na naghahatid ng pinakamainam na kapaligiran sa proseso para sa mataas na kalidad at mataas na kahusayan na paglaki ng epitaxial. Ang Semicorex SiC-coated graphite wafer susceptors ay angkop para sa mga application na humihingi ng mahusay na thin-film uniformity, tulad ng GaN epitaxy sa sapphire substrates.

Mga katangian ng Semicorex SiC-coated graphite wafer susceptors

Ang Semicorex SiC-coated graphite wafer susceptors ay gumagamit ng high-purity graphite bilang kanilang base material at nagdedeposito ng pare-pareho at siksik na silicon carbide coating sa kanilang base sa pamamagitan ng chemical vapor deposition. Ang paggamit ng mga mahuhusay na hilaw na materyales at advanced na teknolohiya sa produksyon, ang Semicorex SiC-coated graphite wafer susceptors ay nagtataglay ng mga sumusunod na natatanging katangian.

1.Pambihirang thermal stability

Ang kagamitan ng MOCVD ay karaniwang gumagana sa mga temperaturang higit sa 1000 ℃, na nagpapataw ng mahigpit na mga kinakailangan sa mataas na temperatura na pagganap ng mga panloob na bahagi. Ang Semicorex SiC-coated graphite wafer susceptors ay maaaring tumugma sa mga malupit na kondisyon sa pagtatrabaho at patuloy na gumana kahit na sa pangmatagalang serbisyo sa mataas na temperatura. Malaya mula sa coating racking o detachment, ang Semicorex SiC-coated graphite wafer susceptors ay maaaring lubos na maalis ang panganib ng paglabas ng gas at impurity mula sa graphite base.

2.Malakas na paglaban sa kaagnasan

Ang Semicorex SiC-coated graphite wafer susceptors ay nagtatampok ng mahusay na oxidation resistance at corrosion resistance sa panahon ng kumplikadong mataas na temperatura at malakas na kaagnasan na mga kondisyon. Ang kanilangPatong ng CVD SiCmaaaring makabuluhang pigilan ang kanilang base mula sa pagkasira ng mga prosesong gas tulad ng NH3 at H2, mabawasan ang paglabas ng kontaminasyon ng carbon, at sa gayon ay mapabuti ang kadalisayan ng mga epitaxial film.

3. Napakahusay na thermal conductivity

Ipinagmamalaki ng Semicorex SiC-coated graphite wafer susceptors ang maaasahang thermal management capability sa panahon ng epitaxial growth na proseso dahil ang kanilang mga graphite base at CVD SiC coatings ay may mahusay na thermal conductivity. Masisiguro nila ang pare-parehong pamamahagi ng init sa mga wafer ng substrate sa panahon ng mga proseso ng pag-deposition ng manipis na pelikula, na nagreresulta sa mga de-kalidad na epitaxial layer.