SiC Coated Plate Carrier para sa MOCVD

Ang Semicorex SiC Coated Plate Carrier para sa MOCVD ay isang de-kalidad na carrier na idinisenyo para gamitin sa proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor. Ang mataas na kadalisayan nito, mahusay na resistensya sa kaagnasan, at maging ang thermal profile ay ginagawa itong isang mahusay na pagpipilian para sa mga naghahanap ng isang carrier na makatiis sa mga hinihingi ng proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor.

Magpadala ng Inquiry

Paglalarawan ng Produkto

Ang aming SiC coated plate carrier para sa MOCVD ay nagtatampok ng mataas na kadalisayan, na ginagawa itong isang mahusay na pagpipilian para sa mga naghahanap ng carrier na lubos na pare-pareho at pare-pareho sa mga katangian nito.
Ang aming SiC coated plate carrier para sa MOCVD na ginawa gamit ang isang high-purity na silicon carbide coating sa graphite, na ginagawa itong lubos na lumalaban sa oksihenasyon sa mataas na temperatura na hanggang 1600°C. Tinitiyak ng CVD chemical vapor deposition process na ginagamit sa pagmamanupaktura nito ang mataas na kadalisayan at mahusay na resistensya sa kaagnasan. Ito ay lubos na lumalaban sa kaagnasan, na may siksik na ibabaw at mga pinong particle, na ginagawa itong lumalaban sa acid, alkali, asin, at mga organikong reagents. Ang mataas na temperatura ng oxidation resistance nito ay nagsisiguro ng katatagan sa mataas na temperatura hanggang sa 1600°C.

Mga Parameter ng SiC Coated Plate Carrier para sa MOCVD

Pangunahing Pagtutukoy ng CVD-SIC Coating
Mga Katangian ng SiC-CVD
Istraktura ng Kristal	FCC β phase
Densidad	g/cm ³	3.21
Katigasan	Vickers tigas	2500
Sukat ng Butil	μm	2~10
Kadalisayan ng Kemikal	%	99.99995
Kapasidad ng init	J kg-1 K-1	640
Temperatura ng Sublimation	℃	2700
Lakas ng Felexural	MPa (RT 4-point)	415
Young's Modulus	Gpa (4pt bend, 1300℃)	430
Thermal Expansion (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Thermal conductivity	(W/mK)	300

Mga Tampok ng SiC Coated Graphite Susceptor para sa MOCVD

- Iwasan ang pagbabalat at tiyakin ang patong sa lahat ng ibabaw
Mataas na temperatura na paglaban sa oksihenasyon: Matatag sa mataas na temperatura hanggang sa 1600°C
Mataas na kadalisayan: ginawa ng CVD chemical vapor deposition sa ilalim ng mataas na temperatura na mga kondisyon ng chlorination.
Corrosion resistance: mataas na tigas, siksik na ibabaw at pinong mga particle.
Corrosion resistance: acid, alkali, asin at organic reagents.
- Makamit ang pinakamahusay na pattern ng daloy ng laminar gas
- Garantiyang pantay ang thermal profile
- Pigilan ang anumang kontaminasyon o pagkalat ng mga impurities