Bahay > Mga produkto > Pinahiran ng Silicon Carbide > ICP Etching Carrier > SiC Plate para sa ICP Etching Process
SiC Plate para sa ICP Etching Process

SiC Plate para sa ICP Etching Process

Ang SiC Plate ng Semicorex para sa Proseso ng Pag-ukit ng ICP ay ang perpektong solusyon para sa mataas na temperatura at malupit na mga kinakailangan sa pagproseso ng kemikal sa thin film deposition at wafer handling. Ipinagmamalaki ng aming produkto ang mahusay na paglaban sa init at kahit na pagkakapareho ng thermal, na tinitiyak ang pare-parehong kapal at paglaban ng epi layer. Sa malinis at makinis na ibabaw, ang aming high-purity na SiC crystal coating ay nagbibigay ng pinakamainam na paghawak para sa malinis na mga wafer.

Magpadala ng Inquiry

Paglalarawan ng Produkto

Makamit ang pinakamataas na kalidad na proseso ng epitaxy at MOCVD gamit ang Semicorex's SiC Plate para sa ICP Etching Process. Ang aming produkto ay partikular na ininhinyero para sa mga prosesong ito, na nag-aalok ng mahusay na init at paglaban sa kaagnasan. Ang aming pinong SiC crystal coating ay nagbibigay ng malinis at makinis na ibabaw, na nagbibigay-daan para sa pinakamainam na paghawak ng mga wafer.

Ang aming SiC Plate para sa ICP Etching Process ay idinisenyo upang makamit ang pinakamahusay na pattern ng daloy ng laminar gas, na tinitiyak ang pagiging pantay ng thermal profile. Nakakatulong ito upang maiwasan ang anumang kontaminasyon o pagkalat ng mga impurities, na tinitiyak ang mataas na kalidad na paglaki ng epitaxial sa wafer chip.

Makipag-ugnayan sa amin ngayon para matuto pa tungkol sa aming SiC Plate para sa ICP Etching Process.


Mga Parameter ng SiC Plate para sa ICP Etching Process

Pangunahing Detalye ng CVD-SIC Coating

Mga Katangian ng SiC-CVD

Istraktura ng Kristal

FCC β phase

Densidad

g/cm ³

3.21

Katigasan

Vickers tigas

2500

Sukat ng Butil

μm

2~10

Kalinisan ng Kemikal

%

99.99995

Kapasidad ng init

J·kg-1 ·K-1

640

Temperatura ng Sublimation

2700

Lakas ng Felexural

MPa (RT 4-point)

415

Youngâ s Modulus

Gpa (4pt bend, 1300â)

430

Thermal Expansion (C.T.E)

10-6K-1

4.5

Thermal conductivity

(W/mK)

300


Mga Tampok ng SiC Plate para sa ICP Etching Process

- Iwasan ang pagbabalat at tiyakin ang patong sa lahat ng ibabaw

Mataas na temperatura na paglaban sa oksihenasyon: Matatag sa mataas na temperatura hanggang sa 1600°C

Mataas na kadalisayan: ginawa ng CVD chemical vapor deposition sa ilalim ng mataas na temperatura na mga kondisyon ng chlorination.

Corrosion resistance: mataas na tigas, siksik na ibabaw at pinong mga particle.

Corrosion resistance: acid, alkali, asin at organic reagents.

- Makamit ang pinakamahusay na pattern ng daloy ng laminar gas

- Garantiyahin ang pagkapantay ng thermal profile

- Pigilan ang anumang kontaminasyon o pagkalat ng mga impurities





Mga Hot Tags: SiC Plate para sa ICP Etching Process, China, Mga Manufacturer, Supplier, Pabrika, Customized, Bulk, Advanced, Matibay

Kaugnay na Kategorya

Magpadala ng Inquiry

Mangyaring huwag mag-atubiling ibigay ang iyong pagtatanong sa form sa ibaba. Sasagot kami sa iyo sa loob ng 24 na oras.
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept