Silicon Carbide Graphite Substrate MOCVD Susceptor

Ang Semicorex Silicon Carbide Graphite Substrate MOCVD Susceptor ay ang pinakamahusay na pagpipilian para sa mga tagagawa ng semiconductor na naghahanap ng isang de-kalidad na carrier na maaaring maghatid ng mahusay na pagganap at tibay. Tinitiyak ng advanced na materyal nito ang kahit na thermal profile at pattern ng daloy ng laminar gas, na naghahatid ng mga de-kalidad na wafer.

Magpadala ng Inquiry

Paglalarawan ng Produkto

Ang aming Silicon Carbide Graphite Substrate MOCVD Susceptor ay napakadalisay, na ginawa ng CVD chemical vapor deposition sa ilalim ng mataas na temperatura na mga kondisyon ng chlorination, na tinitiyak ang pagkakapareho at pagkakapare-pareho ng produkto. Ito rin ay lubos na lumalaban sa kaagnasan, na may siksik na ibabaw at mga pinong particle, na ginagawa itong lumalaban sa acid, alkali, asin, at mga organic na reagents. Ang mataas na temperatura ng oxidation resistance nito ay nagsisiguro ng katatagan sa mataas na temperatura hanggang sa 1600°C.
Makipag-ugnayan sa amin ngayon para matuto pa tungkol sa aming Silicon Carbide Graphite Substrate MOCVD Susceptor.

Mga Parameter ng Silicon Carbide Graphite Substrate MOCVD Susceptor

Pangunahing Pagtutukoy ng CVD-SIC Coating
Mga Katangian ng SiC-CVD
Istraktura ng Kristal	FCC β phase
Densidad	g/cm ³	3.21
Katigasan	Vickers tigas	2500
Sukat ng Butil	μm	2~10
Kadalisayan ng Kemikal	%	99.99995
Kapasidad ng init	J kg-1 K-1	640
Temperatura ng Sublimation	℃	2700
Lakas ng Felexural	MPa (RT 4-point)	415
Young's Modulus	Gpa (4pt bend, 1300℃)	430
Thermal Expansion (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Thermal conductivity	(W/mK)	300

Mga Tampok ng SiC Coated Graphite Susceptor para sa MOCVD

- Iwasan ang pagbabalat at tiyakin ang patong sa lahat ng ibabaw
Mataas na temperatura na paglaban sa oksihenasyon: Matatag sa mataas na temperatura hanggang sa 1600°C
Mataas na kadalisayan: ginawa ng CVD chemical vapor deposition sa ilalim ng mataas na temperatura na mga kondisyon ng chlorination.
Corrosion resistance: mataas na tigas, siksik na ibabaw at pinong mga particle.
Corrosion resistance: acid, alkali, asin at organic reagents.
- Makamit ang pinakamahusay na pattern ng daloy ng laminar gas
- Garantiyahin ang pagkapantay ng thermal profile
- Pigilan ang anumang kontaminasyon o pagkalat ng mga impurities