Silicon pedestal boat

Ang Semicorex Silicon Pedestal Boat ay isang ultra-clean wafer carrier na na-engineered na may mataas na kadalisayan at katumpakan upang suportahan ang mataas na temperatura na mga proseso ng semiconductor tulad ng oksihenasyon, pagsasabog, at LPCVD (mababang presyon ng kemikal na singaw ng kemikal). Ang wafer carrier na ito ay ginawa mula sa 9N (99.9999999%)High-purity silikonUpang matiyak ang pambihirang kalinisan, thermal coefficient ng pagpapalawak ng katatagan, at mekanikal na katumpakan para sa suporta ng wafer at pare-pareho ang control control sa mga ultra-malinis na kapaligiran.

Habang ang mga geometry ng aparato ng semiconductor ay patuloy na pag-urong, ang pangangailangan para sa mga ultra-malinis at thermally na katugmang mga sangkap na paghawak ng wafer ay hindi pa napapansin. Ang bangka ng pedestal ng silikon ay tinutugunan ang mga kahilingan na ito na may mataas na dimensional na kawastuhan at hindi magkatugma na kadalisayan na gagamitin sa mga advanced na sistema ng hurno na nagpapatakbo sa pagitan ng 1100 ° C at 1250 ° C.

Ang pangunahing benepisyo ng bangka ng pedestal ng silikon ay ang na -optimize na mga katangian ng mekanikal at thermal. Ang katigasan ng silikon kumpara sa SIC o Quartz ay makakatulong upang bawasan ang henerasyon ng micro-scratched at butil dahil sa wafer na panginginig ng boses o paggalaw sa panahon ng pinainit na pagpapalawak. Ito ay totoo lalo na para sa mga wafer na sensitibo sa likuran, kung saan ang integridad ng ibabaw ng wafer ay kritikal upang magbunga at pagganap ng aparato.

Ang bangka ng pedestal ay magagamitmonocrystalline o polycrystalline silikonUpang alisin ang mga panganib sa kontaminasyon na nauugnay sa mga materyales na hindi silikon. Ang platform ay nagbabahagi ng parehong komposisyon ng kemikal na aktibong ginagamit na mga wafer, na nagpapaliit sa mga hindi kanais -nais na reaksyon o pagsasabog ng ion sa panahon ng mga proseso ng mataas na temperatura. Ang materyal na homogeneity ay malaki ang binabawasan ang pisikal na pagkakakilanlan ng mga particle at metal na impurities para sa pare -pareho ang mataas na kalidad ng wafer at mataas na aparato sa pamamagitan ng paulit -ulit na mga siklo ng produksyon.

Nagtatampok ang Semicorex Silicon Pedestal Boat na eksaktong dinisenyo na mga puwang ng wafer, na sinamahan ng mga istrukturang suporta ng patayo, tinitiyak na ang mga wafer ay mananatiling perpektong nakahanay at spaced sa panahon ng pag -init ng pag -init. Ang dimensional na katatagan nito ay natitirang, tinitiyak na ang bangka ng pedestal ay hindi mag -warp, yumuko, o magbabago sa matinding temperatura, na nagbibigay ng mahusay na temperatura at pamamahagi ng gas sa bawat wafer. Ang dimensional na katatagan na ito ay may agarang, positibong epekto sa pagkakapareho ng kapal ng pelikula sa panahon ng oksihenasyon at pagsasabog at nagbibigay para sa mas mababang mga bilang ng depekto pati na rin ang mas mahusay na pag -uulit ng proseso.

Ang pangunahing benepisyo ng bangka ng pedestal ng silikon ay ang na -optimize na mga katangian ng mekanikal at thermal. Ang katigasan ng silikon kumpara sa SIC o Quartz ay makakatulong upang bawasan ang henerasyon ng micro-scratched at butil dahil sa wafer na panginginig ng boses o paggalaw sa panahon ng pinainit na pagpapalawak. Ito ay totoo lalo na para sa mga wafer na sensitibo sa likuran, kung saan ang integridad ng ibabaw ng wafer ay kritikal upang magbunga at pagganap ng aparato.

Ang bangka ng pedestal ay may mahusay na thermal conductivity at isang mababang koepisyent ng thermal expansion na nagbibigay ng mga katangian ng paglipat ng init habang pinapanatili ang hugis at istruktura na may maraming pag -init at paglamig. Nagbibigay din ang matatag na disenyo para sa isang mahabang buhay na may kaunting pagpapapangit sa pamamagitan ng matinding kondisyon ng hurno.

Nagbibigay ang Semicorex ng mga pasadyang disenyo para sa iba't ibang mga pagsasaayos ng kagamitan, kabilang ang diameter ng wafer, bilang ng slot, taas ng pedestal, at mga pagkakaiba -iba ng geometry. Ang bawat produkto ay sinuri para sa kadalisayan, sinusukat na dimensional, at pagsubok para sa thermal conductivity, lahat upang matugunan ang pinakamataas na pamantayan sa proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor.

Ang bangka ng pedestal na bangka ay katugma sa mga proseso ng oksihenasyon at pagsasabog pati na rin sa mga aplikasyon ng LPCVD at annealing na nangangailangan ng hindi natukoy na temperatura na pagkakapareho at control control.Ang silikon na pedestal boat ay katugma sa iba pang mga components ng silikon tulad ng injector tube, liner tube, at wafer carrier, pagpapanatili ng materyal at thermal match sa buong sistema ng pagproseso.