Silicon wafer boat

Ang Semicorex ay maaaring ipasadya ang istraktura ng bangka ng silikon na wafer, kabilang ang hugis ng baras ng ugat, haba ng ngipin ng groove, hugis, anggulo ng ikiling, at kabuuang kapasidad ng pag -load ng wafer, at maaaring magawa ayon sa mga kinakailangan sa customer. Ang mga high-temperatura na bangka ng silikon ay maaaring epektibong mabawasan ang pinsala sa contact sa mga wafer ng silikon at pagbutihin ang ani ng proseso. Ang disenyo ng high-temp na "slip-free tower" ay sumusuporta lamang sa mga wafer sa dulo ng sumusuporta sa ngipin. Kumpara saSilicon Carbide. Ang fused silikon na bangka ay binubuo ng ilang mga bahagi: ngipin, base plate, at tuktok na plato, na pinagsama -sama. Binabawasan nito ang mga gastos sa produksyon. Kung sakaling magkaroon ng bahagyang pinsala, ang mga nasirang bahagi ay maaaring mapalitan nang hindi pinapalitan ang buong bangka ng silikon, na makabuluhang binabawasan ang mga gastos sa pagmamay -ari sa panahon ng paggamit. Bilang karagdagan, ang bangka ng silikon ay may malaking itaas na limitasyon para sa pag -aalis ng polysilicon, na maaaring epektibong mabawasan ang dalas ng kagamitan ng PM at pagbutihin ang kapasidad ng produksyon.

Ang Semicorex Silicon Wafer Boat ay isang makabagong, dinisenyo na layunin, carrier ng wafer. Ito ay partikular na nilikha para sa pagproseso ng mataas na temperatura na ginamit sa industriya ng semiconductor, kabilang ang mga proseso ng oksihenasyon at pagbawas sa mga temperatura sa pagitan ng 1200 at 1250 ° C. Nagtatampok ng mga benepisyo sa pagganap na hindi magagamit sa materyal na silikon carbide (sic), ang bangka ng silikon wafer ay nagbibigay ng mga pakinabang na nauugnay sa mahigpit na proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor. Una, ang ultra-mataas na kadalisayan ng materyal na silikon ay makabuluhan; Sa katunayan, angMateryal ng SiliconNakakamit ang mga antas ng ultra-mataas na kadalisayan na higit sa 9N (99.9999999%), sa gayon tinitiyak na walang metal o dayuhang impurities ang magpapatuloy sa pagproseso ng wafer. Mahalaga ito para sa nangungunang semiconductor na aparato sa paggawa kung saan ang pagiging maaasahan ng pagganap at ani ay labis na naapektuhan ng kontaminasyon. Ang bangka ng silikon na wafer ay nagbibigay ng isang ultra-malinis na kapaligiran na may mataas na antas ng kadalisayan na angkop para sa pinaka advanced na mga kinakailangan sa industriya para sa paghawak ng mga wafer na nakalantad sa napakataas na temperatura para sa pagproseso ng oksihenasyon at pagbawas.

Isa pang pakinabang ngMateryal ng Siliconay ang mas mababang mga katangian ng tigas nito kung ihahambing sa materyal na SIC. Ang mga sic bar o bangka ay kilala para sa tigas at lakas, ngunit ang mismong pag -aari ay maaaring humantong sa mga paghihirap sa panahon ng pagproseso ng wafer. Sa mataas na temperatura, ang mga wafer ay micro-move; Mag -bounce sila nang bahagya, lumipat nang bahagya, at gilid ng warp habang nasa loob ng bangka. Ang isang mas mahirap, sic material ay maaaring magdulot ng mas mataas na mga panganib ng pagbuo ng mga particle o mga gasgas sa likuran ng wafer dahil ang mga katangian ng wafer at bangka ay nakikipag-ugnay sa ilalim ng mga kondisyon na pagproseso ng mataas na temperatura.

Ang bangka ng silikon wafer ay nagpapagaan sa pag -aalala na ito sa pamamagitan ng pagsamantala sa medyo malambot na karakter ni Silicon na may kaugnayan sa SIC. Ang pagbawas sa katigasan ay nagbibigay -daan para sa parehong mas kaunting alitan at mekanikal na stress kapag ang mga wafer ay makipag -ugnay sa bangka sa panahon ng mga thermal cycle. Bilang isang resulta, ang mga particle ay nabuo nang mas madalas at ang panganib ng mga gasgas sa likuran ay nabawasan sa halos zero. Bukod dito, sa pamamagitan ng pag -minimize ng mga depekto sa ibabaw, ang silikon na wafer boat ay direktang nagpapabuti sa kalidad ng sala -sala at pinalalaki ang pangkalahatang rate ng kwalipikasyon ng mga naproseso na wafer. Para sa mga semiconductor fabs na naghahanap upang mapagbuti ang mga ani na may pinakamataas na kontrol sa kalidad, ang estado ng pagganap na ito ay ginagawang pagpipilian ng Silicon Boat.

Nag -aalok ang Silicon ng mahusay na katatagan at mekanikal na lakas sa mataas na temperatura, na nagpapahintulot sa bangka na maglingkod nang maaasahan sa paulit -ulit na mga siklo ng hurno. Ang materyal ay lumalaban sa pag -war sa panahon ng pag -init at paglamig na mga siklo, at sa gayon, pinapanatili ang tumpak na paglalagay ng wafer at pagpoposisyon ng pagpapaubaya kahit na sa mabilis na mga siklo ng hurno. Ang thermal robustness na ito ay nagbibigay ng maaasahang mga resulta ng proseso na pare -pareho sapat para sa mataas na dami ng produksyon na may kaunting pagkakaiba -iba sa pagitan ng mga tumatakbo. Ang bangka ng silikon na wafer ay itinayo na may mataas na dimensional na katumpakan upang matiyak ang pare -pareho na pagpoposisyon at paglalagay ng wafer. Ang bangka ay gawa -gawa gamit ang advanced na machining at buli upang lumikha ng makinis na mga ibabaw, malapit na geometry at masikip na pagpapaubaya.