Teflon Cassettes

Ang Semicorex Teflon cassette ay mga high-performance wafer carriers na partikular na inhinyero para magamit sa hinihingi na mga kemikal na kapaligiran kung saan ang kadalisayan, paglaban ng kemikal, at katatagan ng thermal ay mahalaga. Ginawa mula sa mataas na kadalisayan polytetrafluoroethylene (PTFE), ang mga cassette na ito ay malawakang ginagamit sa pagmamanupaktura ng semiconductor, basa na etching, paglilinis ng kemikal, at iba pang mga aplikasyon kung saan ang pagkakalantad sa lubos na agresibong kemikal ay nakagawiang. Ang kanilang hindi reaktibo na kalikasan ay ginagawang perpekto sa kanila para sa paghawak ng pinong mga substrate tulad ng mga silikon na wafer, mga panel ng salamin, at iba pang mga sangkap ng katumpakan nang hindi nagpapakilala ng kontaminasyon o mga particulate sa proseso.

Sa iba't ibang mga proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor, tulad ng lithography, etching, at pagtatanim ng ion, ang mga cassette ay may papel sa transportasyon at paglilipat ng mga wafer sa pagitan ng iba't ibang mga aparato. Ang iba't ibang mga kagamitan sa proseso ay maaaring magkaroon ng iba't ibang mga kinakailangan sa interface para sa mga cassette upang matiyak na ang mga wafer carrier ay maaaring tumpak na matanggap at mailagay.

Mula sa pananaw ng materyal at disenyo, ang mga materyales na lumalaban sa init, ay may mahusay na mga mekanikal na katangian, dimensional na katatagan, at matibay, anti-static, mababang outgassing, mababang pag-ulan, at recyclable ay karaniwang ginagamit. Ang iba't ibang mga sukat ng wafer, mga proseso ng node, at mga proseso ay gumagamit ng iba't ibang mga materyales. Ang mga pangkalahatang materyales ay PFA, PTFE, PP, PEEK, PES, PC, PBT, PEI, COP, atbp.

Nag -aalok ang Teflon cassettes ng mahusay na paglaban ng kemikal sa mga kapaligiran gamit ang hydrofluoric acid, nitric acid, sulfuric acid, at iba pang malakas na corrosives. Hindi tulad ng mga maginoo na materyales tulad ng polypropylene o hindi kinakalawang na asero, ang PTFE ay nagpapababa ng hindi; hindi namamaga; Ang mga leaches ay walang mga sangkap sa malupit na mga paliguan ng kemikal. Ang pagganap ay samakatuwid ay ginagarantiyahan sa mahabang panahon at samakatuwid ang pagiging maaasahan ng mga cassette para sa mga linya ng produksyon ng high-throughput at mga ultra-clean na kapaligiran. Ang katatagan nito ay nangangahulugang mas mababang mga pangangailangan sa pagpapanatili at dalas ng kapalit, sa gayon binabawasan ang pangmatagalang gastos sa operating.

Ang mga cassette ng Teflon ay nagpapakita ng napakataas na katatagan ng thermal. Madali silang makatiis ng mga temperatura mula -200 ° C hanggang +260 ° C, naaangkop para sa cryogenic pati na rin para sa mga proseso ng mataas na temperatura. Kahit na inilagay sa pinainit na mga silid ng pagpapatayo o malamig na paliguan ng kemikal, ang mga cassette ay hindi nawawala ang kanilang istruktura na lakas; Hindi sila nag -warp o nag -crack, tinitiyak na ang mga wafer ay mananatiling ligtas na gaganapin sa pagproseso. Ang temperatura na ito ay nag -aambag nang malaki upang maproseso ang kontrol at pagkakapareho, na kritikal para sa semiconductor at katha ng MEMS.

Ang isang pantay na mahalagang katangian ng mga cassette ng Teflon ay ang hindi gumagalaw, hindi nakadikit na ibabaw. Ang PTFE na likas ay hindi pinapayagan ang adsorption ng mga particle at mga nalalabi sa kemikal, samakatuwid binabawasan ang mga panganib ng kontaminasyon sa mga kapaligiran ng malinis. Ito ay dapat na isama sa isang makinis na pagtatapos ng ibabaw na nagbibigay -daan sa paglabas ng madali at mabilis na pagpapatayo, sa gayon ang mas malinis na mga resulta at mas mabilis na resulta ng pag -ikot. Sa pagproseso ng semiconductor, kung saan ang mga depekto ay maaaring sanhi ng kahit na mga mikroskopikong kontaminado, ang kalinisan at antas ng pagkawalang -kilos ng kemikal ay sapilitan.

Ang bawat cassette ay tumpak na ginawa sa masikip na laki ng pagpapaubaya, ginagarantiyahan ang matatag na wafer na pagkakahanay at puwang habang inililipat at inilagay sa likido. Ang kanilang madaling dinisenyo form ay tumutulong sa mabilis na daloy ng kemikal at kanal, na nagpapabilis sa mga rate ng palitan ng kemikal at pagpapabuti ng paglilinis o pag -iingat ng pagkakapareho sa ibabaw ng wafer.  Ang mga cassette ay magagamit sa mga karaniwang sukat para sa 4-pulgada, 6-pulgada, at 8-pulgada na wafers, na may mga pagpipilian sa pagpapasadya na magagamit upang magkasya sa mga tiyak na sukat ng substrate, bilang ng mga slot, at mga kinakailangan sa paghawak.

Idinisenyo para sa pagiging tugma sa mga awtomatikong basa na mga bangko at robotic wafer na paghawak ng mga sistema, ang mga cassette ng Teflon ay madaling isama sa karamihan sa mga pag -setup ng semiconductor. Ang kanilang matatag na konstruksiyon at pagtatapos ng grade-grade ay nakakatugon sa mahigpit na hinihingi ng mga kapaligiran na sertipikado ng ISO. Ang lahat ng mga cassette ay sumasailalim sa masusing inspeksyon at pre-cleaned sa ultra-pure na tubig upang matugunan ang mga pamantayan sa kalinisan na kinakailangan para sa advanced na paggawa ng microelectronics. Ang mga sertipiko ng pagsunod at buong materyal na pagsubaybay ay maaaring maibigay upang matiyak ang pagsunod sa mga protocol ng katiyakan ng kalidad.