Mga Bangka na Vertical Quartz Wafer

Sa mga proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor, ang mga bahagi ng semiconductor sa silid ng reaksyon ay dapat matugunan ang mahigpit na pamantayan ng mataas na kalinisan. Kung hindi man, kahit na ang micro-scale o nano-scale na impurities o contaminants ay maaaring magdulot ng hindi maibabalik na pinsala sa performance at yield ng mga semiconductor device.

Kuwarts wafer bangkaay karaniwang naka-install nang patayo sa mga high-temperature reaction chamber tulad ng diffusion furnace, oxidation furnace, at annealing furnace, kung saan kailangang direktang kontakin ang mga wafer. Ang mga vertical quartz wafer boat ng Semicorex ay ginawa ng mga high-purity na materyales na quartz upang matugunan ang mga kinakailangan sa mataas na kalinisan. Ang matalinong pagpili ng materyal na ito ay epektibong maiwasan ang kontaminasyon ng wafer na dulot ng mga reactant na inilabas mula sa mga wafer boat sa panahon ng proseso ng pagmamanupaktura.

Sa pagmamanupaktura ng semiconductor, ang mga wafer boat ay kinakailangang hindi lamang sumailalim sa paulit-ulit na pag-init-paglamig cycle ngunit din makatiis sa kaagnasan ng proseso gas sa mahabang panahon. Ang vertical quartz ng SemicorexostiyaAng mga bangka ay nagpapakita ng pambihirang dimensional na katatagan sa mga mahirap na kondisyon ng pagpapatakbo ng patuloy na thermal cycling dahil sa kanilang likas na thermal stability. Ang superior thermal properties na ito ay makabuluhang pumipigil sa wafer deformation at pinsala na dulot ng precision degradation o structural deformation ng vertical quartz wafer boats. Higit pa rito, salamat sa kanilang mataas na chemical inertness, ang mga vertical quartz wafer boat ay maaaring lumalaban sa reaksyon sa mga corrosive na gas tulad ng oxygen, water vapor, hydrogen chloride, at ammonia. Ang ari-arian na ito ay lubos na binabawasan ang posibilidad na ang kemikal na kaagnasan ay makompromiso ang istrukturang integridad ng mga vertical quartz wafer boat.

Bilang karagdagan sa mga pakinabang sa pagganap na binanggit sa itaas, ang mga vertical quartz wafer boat ng Semicorex ay nagpapakita rin ng mahusay na pagiging mapagkumpitensya sa katumpakan ng dimensyon at disenyo ng istruktura. Ang bawat bahagi ng mga ito ay ginawa ng precision machining techniques. Tinitiyak ng pinpoint na dimensional na kontrol na ito ang tumpak na pagpoposisyon ng wafer, na pinapaliit ang mga gasgas at bitak na dulot ng pag-aalis o banggaan habang naglo-load, nagpoproseso, at nag-aalis.