6 Inch N-type na SiC Wafer

Ang Semicorex ay nagbibigay ng iba't ibang uri ng 4H at 6H SiC wafers. Kami ay tagagawa at tagatustos ng mga wafer sa loob ng maraming taon. Ang aming double-polished 6 Inch N-type na SiC Wafer ay may magandang bentahe sa presyo at sumasaklaw sa karamihan ng mga European at American market. Inaasahan naming maging iyong pangmatagalang kasosyo sa China.

Magpadala ng Inquiry

Paglalarawan ng Produkto

Ang Semicorex ay may kumpletong linya ng mga produktong wafer ng silicon carbide(SiC), kabilang ang 4H at 6H na mga substrate na may mga N-type, P-type at high purity na semi-insulating wafer, maaari silang magkaroon o walang epitaxy. Ang aming 4-inch na N-type na SiC (silicon carbide) na substrate ay isang uri ng mataas na kalidad na wafer na ginawa mula sa isang kristal ng silicon carbide na may N-type na doping, na dobleng pinakintab.

Pangunahing ginagamit ang 6 Inch N-type na SiC Wafer sa mga bagong sasakyang pang-enerhiya, high-voltage transmission at substation, white goods, high-speed train, electric motors, photovoltaic inverters, pulsed power supply at iba pang mga field, na may mga pakinabang ng pagbabawas ng kagamitan. pagkawala ng enerhiya, pagpapabuti ng pagiging maaasahan ng kagamitan, pagbabawas ng laki ng kagamitan at pagpapabuti ng pagganap ng kagamitan, at may hindi mapapalitang mga pakinabang sa paggawa ng mga power electronic device.

Mga bagay	Produksyon	Pananaliksik	Dummy
Mga Parameter ng Crystal
Polytype	4H
Error sa oryentasyon sa ibabaw	<11-20 >4±0.15°
Mga Parameter ng Elektrisidad
Dopant	n-type na Nitrogen
Resistivity	0.015-0.025ohm·cm
Mga Parameter ng Mekanikal
diameter	150.0±0.2mm
kapal	350±25 μm
Pangunahing patag na oryentasyon	[1-100]±5°
Pangunahing patag na haba	47.5±1.5mm
Pangalawang flat	wala
TTV	≤5 μm	≤10 μm	≤15 μm
LTV	≤3 μm(5mm*5mm)	≤5 μm(5mm*5mm)	≤10 μm(5mm*5mm)
yumuko	-15μm ~ 15μm	-35μm ~ 35μm	-45μm ~ 45μm
Warp	≤35 μm	≤45 μm	≤55 μm
Kagaspangan sa harap(Si-face)(AFM)	Ra≤0.2nm (5μm*5μm)
Istruktura
Densidad ng micropipe	<1 ea/cm2	<10 ea/cm2	<15 ea/cm2
Mga dumi ng metal	≤5E10atoms/cm2		NA
BPD	≤1500 ea/cm2	≤3000 ea/cm2	NA
TSD	≤500 ea/cm2	≤1000 ea/cm2	NA
Kalidad sa Harap
harap	At
Pang-ibabaw na tapusin	Si-face CMP
Mga particle	≤60ea/wafer (laki≥0.3μm)	NA
Mga gasgas	≤5ea/mm. Pinagsama-samang haba ≤Diameter	Pinagsama-samang haba≤2*Diameter	NA
Balat ng orange/mga hukay/mantsa/striations/bitak/kontaminasyon	wala		NA
Edge chips/indents/fracture/hex plates	wala
Mga lugar ng polytype	wala	Pinagsama-samang lugar≤20%	Pinagsama-samang lugar≤30%
Pagmarka ng laser sa harap	wala
Kalidad ng Bumalik
Back finish	C-face CMP
Mga gasgas	≤5ea/mm, Pinagsama-samang haba≤2*Diameter	NA
Mga depekto sa likod (mga edge chips/indents)	wala
Pagkagaspang sa likod	Ra≤0.2nm (5μm*5μm)
Pagmarka sa likod ng laser	1 mm (mula sa itaas na gilid)
gilid
gilid	Chamfer
Packaging
Packaging	Epi-ready na may vacuum packaging Multi-wafer cassette packaging
*Mga Tala: Ang ibig sabihin ng "NA" ay walang kahilingan Ang mga bagay na hindi nabanggit ay maaaring sumangguni sa SEMI-STD.