Alumina ceramic end effector

Ang Semicorex alumina ceramic end effector ay isang mahalagang tool sa mga awtomatikong sistema ng paglilipat ng wafer, na nag -aalok ng hindi katumbas na lakas ng mekanikal, katatagan ng thermal, at paglaban sa kemikal. Ginawa gamit ang mataas na kadalisayanalumina (al₂o₃) ceramic, Ang end effector na ito ay inhinyero upang matugunan ang mahigpit na hinihingi ng mga kapaligiran sa pagproseso ng wafer, kung saan ang katumpakan, kalinisan, at tibay ay pinakamahalaga.

Ang Semiconductor Robot Arms ay isa sa mga mahahalagang bahagi ng kagamitan sa semiconductor. Karaniwan silang binubuo ng mga controller, driver, armas at mga epekto sa pagtatapos. Ang mga ito ay nailalarawan sa pamamagitan ng mataas na kalinisan, mataas na katatagan, mataas na katumpakan, mataas na kahusayan at mataas na pagiging maaasahan. Ang mga robot ng Semiconductor ay pangunahing ginagamit sa proseso ng front-end ng semiconductor manufacturing upang dalhin, transportasyon at posisyon semiconductor wafers.

Ang istraktura ng ceramic na may nilalaman ng alumina na karaniwang mas malaki kaysa sa 99.5% ay magbibigay ng higit na katigasan at pagsusuot ng paglaban para sa paulit-ulit na mga galaw sa mga kapaligiran na may mataas na katumpakan nang walang pagkasira sa paglipas ng panahon. Ang mataas na thermal conductivity at mababang thermal pagpapalawak ng alumina ay nagbibigay -daan para sa dimensional na katatagan sa mga kapaligiran na may nakataas na temperatura, isang pangangailangan sa karamihan ng mga operasyon sa paglilinis sa mga semiconductors, tulad ng sa isang etcher, depositter, inspeksyon, o tool sa paglilinis.

Angalumina ceramicAng pagtatapos ng effector ay may isang kilalang katangian na pagtatapos ng ibabaw na makinis at may mababang porosity, ginagawa itong malapit sa mga zero particle na nabuo at minimize o zero na epekto sa mga kontaminado sa panahon ng paghawak ng wafer. Bilang karagdagan, ang alumina ay chemically inert. Nangangahulugan ito na hindi ito magiging reaksyon sa alinman sa mga gas gas at anumang mga proseso ng likido na nakikipag -ugnay sa wafer. Pinoprotektahan nito ang wafer at anumang kontaminasyon sa sarili at kagamitan mula sa anumang maaaring maging sanhi ng kaagnasan.

Karaniwan silang ginagamit bilang mga end effects, o isang mekanismo ng clamping, para sa mga robotic arm o transfer modules sa wafer na kagamitan sa katha at kagamitan tulad ng isang etcher o tool na pag -aalis, inspeksyon o paglilinis ng tool na may tumpak na mga puwang, grooves, o mga vacuum channel na nakakakuha ng aktwal na laki ng wafer kung ito ay 100 mm, 200 mm, o 300 mm at paglilipat ng mga wafer at pagkuha ng kapalit. Ang mga end effect ay karaniwang hahawak sa mga bilis ng paglilipat ng wafer sa 25 cm/segundo.

Ang mga pagpipilian sa pagpapasadya ay umiiral kasama ang mga linya ng dinisenyo para sa mga tukoy na interface ng kagamitan o laki ng wafer. Ang istruktura ng istruktura ng alumina ay nagbibigay -daan para sa manipis at magaan na mga profile na mabawasan ang pangkalahatang masa ng paghawak ng sistema at humantong sa mas mabilis na mga oras ng pagtugon. Ang ilang mga pagsasaayos ay maaari ring magdagdag ng mga sangkap na anti-static o insulating upang magbigay ng karagdagang proteksyon sa mga sensitibong elektronikong substrate.

Sa pangkalahatan, ang alumina ceramic end effector ay nagbibigay ng isang epektibong solusyon na nagtataguyod ng pinabuting ani at nabawasan ang kontaminasyon, kung saan ang pagiging maaasahan ng pagpapatakbo ay mga pangunahing elemento para sa linya ng pagproseso ng wafer. Sa pamamagitan ng tibay at pisikal na mga katangian ng pagganap, ang epektibo at mabisang gastos na alumina ceramic end effector ay nakikilala ang sarili bilang isang tanyag na pagpipilian sa gitna ng mga tagagawa ng semiconductor at mga tela na nangangailangan ng mahigpit na pamantayan sa paggawa sa isang ultra-malinis na kapaligiran.