CVD shower head na may SiC Coat

Ang CVD shower head na may SiC Coat ay kumakatawan sa isang advanced na component na inengineer para sa katumpakan sa mga pang-industriyang aplikasyon, lalo na sa mga larangan ng chemical vapor deposition (CVD) at plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD). Nagsisilbing kritikal na conduit para sa paghahatid ng mga precursor gas o reaktibong species, ang espesyal na CVD shower head na ito na may SiC Coat ay nagpapadali sa tumpak na pagdeposito ng mga materyales sa ibabaw ng substrate, na mahalaga sa mga sopistikadong proseso ng pagmamanupaktura.

Magpadala ng Inquiry

Paglalarawan ng Produkto

Binuo mula sa high-purity graphite at nababalot ng manipis na SiC layer sa pamamagitan ng CVD method, ang CVD shower head na may SiC Coat ay nag-aasawa ng mga kapaki-pakinabang na katangian ng parehong graphite at SiC. Ang synergy na ito ay nagreresulta sa isang bahagi na hindi lamang mahusay sa pagtiyak ng pare-pareho at tumpak na pamamahagi ng mga gas ngunit ipinagmamalaki rin ang kahanga-hangang katatagan laban sa mga thermal at chemical rigors na madalas na nakatagpo sa mga kapaligiran ng deposition.

Ang susi sa functionality ng CVD shower head na may SiC Coat ay ang kahusayan nito sa pantay na pagpapakalat ng mga precursor na gas sa ibabaw ng substrate, isang gawaing nakamit sa pamamagitan ng estratehikong paglalagay nito sa ibabaw ng substrate at ang maselang disenyo ng maliliit na butas o nozzle na tumatama sa ibabaw nito. Ang pare-parehong pamamahagi na ito ay mahalaga para sa pagkamit ng pare-parehong mga resulta ng deposition.

Ang pagpili ng SiC bilang coating material para sa CVD shower head na may SiC Coat ay hindi basta-basta ngunit alam ng superior thermal conductivity at chemical stability nito. Ang mga katangiang ito ay mahalaga para sa pagpapagaan ng akumulasyon ng init sa panahon ng proseso ng pag-deposition at pagpapanatili ng pantay na temperatura sa kabuuan ng substrate, bilang karagdagan sa pagbibigay ng matatag na depensa laban sa mga corrosive na gas at malupit na kondisyon na naglalarawan sa mga proseso ng CVD.

Iniakma upang matugunan ang mga partikular na pangangailangan ng iba't ibang mga CVD system at mga kinakailangan sa proseso, ang disenyo ng CVD shower head na may SiC Coat ay sumasaklaw sa hugis ng plato o disc na nilagyan ng masusing kinakalkulang hanay ng mga butas o slot. tinitiyak ng CVD shower head na may disenyo ng SiC Coat hindi lamang ang pare-parehong pamamahagi ng gas kundi pati na rin ang pinakamainam na mga rate ng daloy na mahalaga para sa proseso ng pag-deposition, na itinatampok ang papel ng component bilang isang linchpin sa pagtugis ng katumpakan at pagkakapareho sa mga proseso ng pag-deposito ng materyal.