CVD SiC Coated Graphite Shower Head

Ang Semicorex CVD SiC (Chemical Vapor Deposition Silicon Carbide) na pinahiran ng graphite shower head ay isang espesyal na bahagi na ginagamit sa iba't ibang prosesong pang-industriya, tulad ng chemical vapor deposition (CVD) at plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD). Ito ay gumaganap ng isang mahalagang papel sa paghahatid ng mga precursor na gas o reaktibong species sa ibabaw ng substrate sa panahon ng mga prosesong ito ng pag-deposition.

Ang CVD SiC coated graphite shower head ay gawa sa high purity graphite at pinahiran ng SiC thin layer sa pamamagitan ng CVD method. Pinagsasama ng CVD SiC coated graphite shower head ang mga kapaki-pakinabang na katangian ng graphite at SiC, na ginagawa itong isang mahalagang bahagi sa iba't ibang proseso ng deposition kung saan kinakailangan ang tumpak at pare-parehong pamamahagi ng gas, kasama ang paglaban sa mataas na temperatura at kemikal na kapaligiran.

Mga Tampok:

Paglaban sa kemikal

Thermal na katatagan

Makinis at pare-parehong ibabaw

Nabawasan ang kontaminasyon