ICP Plasma Etching System

Makamit ang pinakamataas na kalidad na proseso ng epitaxy at MOCVD gamit ang SiC Coated carrier ng Semicorex para sa ICP Plasma Etching System. Ang aming produkto ay partikular na ininhinyero para sa mga prosesong ito, na nag-aalok ng mahusay na init at paglaban sa kaagnasan. Ang aming pinong SiC crystal coating ay nagbibigay ng malinis at makinis na ibabaw, na nagbibigay-daan para sa pinakamainam na paghawak ng mga wafer.
Makipag-ugnayan sa amin ngayon para matuto pa tungkol sa aming SiC Coated carrier para sa ICP Plasma Etching System.

Mga Parameter ng SiC Coated carrier para sa ICP Plasma Etching System

Mga tampok ng SiC Coated carrier para sa ICP Plasma Etching System

- Iwasan ang pagbabalat at tiyakin ang patong sa lahat ng ibabaw

Mataas na temperatura na paglaban sa oksihenasyon: Matatag sa mataas na temperatura hanggang sa 1600°C

Mataas na kadalisayan: ginawa ng CVD chemical vapor deposition sa ilalim ng mataas na temperatura na mga kondisyon ng chlorination.

Corrosion resistance: mataas na tigas, siksik na ibabaw at pinong mga particle.

Corrosion resistance: acid, alkali, asin at organic reagents.

- Makamit ang pinakamahusay na pattern ng daloy ng laminar gas

- Garantiyahin ang pagkapantay ng thermal profile

- Pigilan ang anumang kontaminasyon o pagkalat ng mga impurities