Ang SiC-Coated ICP Component ng Semicorex ay partikular na idinisenyo para sa mataas na temperatura na mga proseso ng paghawak ng wafer gaya ng epitaxy at MOCVD. Gamit ang pinong SiC crystal coating, ang aming mga carrier ay nagbibigay ng mahusay na paglaban sa init, kahit na pagkakapareho ng thermal, at matibay na paglaban sa kemikal.
Ang SiC-Coated ICP Component ng Semicorex ay ang nangungunang pagpipilian para sa mga proseso ng paghawak ng wafer na nangangailangan ng mataas na temperatura at paglaban sa kemikal. Ang aming mga carrier ay nagbibigay ng kahit na mga thermal profile, laminar gas flow pattern, at maiwasan ang kontaminasyon o impurities diffusion salamat sa aming pinong SiC crystal. Gamit ang pinong SiC crystal coating, ang aming mga carrier ay nagbibigay ng mahusay na paglaban sa init, kahit na pagkakapareho ng thermal, at matibay na paglaban sa kemikal.
Sa Semicorex, nakatuon kami sa pagbibigay ng mataas na kalidad, matipid na mga produkto sa aming mga customer. Ang aming SiC-Coated ICP Component ay may kalamangan sa presyo at ini-export sa maraming European at American market. Nilalayon naming maging iyong pangmatagalang kasosyo, na naghahatid ng pare-parehong kalidad ng mga produkto at pambihirang serbisyo sa customer.
Makipag-ugnayan sa amin ngayon para matuto pa tungkol sa aming SiC-Coated ICP Component.
Mga Parameter ng SiC-Coated ICP Component
Pangunahing Pagtutukoy ng CVD-SIC Coating |
||
Mga Katangian ng SiC-CVD |
||
Istraktura ng Kristal |
FCC β phase |
|
Densidad |
g/cm ³ |
3.21 |
Katigasan |
Vickers tigas |
2500 |
Sukat ng Butil |
μm |
2~10 |
Kadalisayan ng Kemikal |
% |
99.99995 |
Kapasidad ng init |
J kg-1 K-1 |
640 |
Temperatura ng Sublimation |
℃ |
2700 |
Lakas ng Felexural |
MPa (RT 4-point) |
415 |
Young's Modulus |
Gpa (4pt bend, 1300℃) |
430 |
Thermal Expansion (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Thermal conductivity |
(W/mK) |
300 |
Mga Tampok ng SiC-Coated ICP Component
- Iwasan ang pagbabalat at tiyakin ang patong sa lahat ng ibabaw
Mataas na temperatura na paglaban sa oksihenasyon: Matatag sa mataas na temperatura hanggang sa 1600°C
Mataas na kadalisayan: ginawa ng CVD chemical vapor deposition sa ilalim ng mataas na temperatura na mga kondisyon ng chlorination.
Corrosion resistance: mataas na tigas, siksik na ibabaw at pinong mga particle.
Corrosion resistance: acid, alkali, asin at organic reagents.
- Makamit ang pinakamahusay na pattern ng daloy ng laminar gas
- Garantiyang pantay ang thermal profile
- Pigilan ang anumang kontaminasyon o pagkalat ng mga impurities