Mga Poly-Si Slotted Ring

Ang mga poly-Si slotted ring ay karaniwang naka-install sa reaction chamber ng advanced semiconductor etching equipment. Gumana sila ng synergistically sa mga bahagi ng silikon, kabilang ang silikonfocus rings, silikon na panlabas na singsing, at silikonmga showerhead. Ang mga bahaging ito ay maaaring lumikha ng isang matatag at pinakamainam na kapaligiran ng reaksyon para sa proseso ng pag-ukit, na tinitiyak na mahusay angpag-ukitkatumpakan at pagkakapare-pareho ng proseso.

Mga function ng Semicorex poly-Si slotted rings

1. Ang Semicorex poly-Si slotted rings ay nilagyan ng maramihang pantay na distributed slots na nagsisilbing gas passage, na nagbibigay-daan sa makinis na pag-ubos ng mga prosesong gas pagkatapos ng reaksyon.

2. Ang mga semicorex poly-Si slotted ring ay nakakamit ng mahusay na plasma control, na nag-aalok ng maaasahang proteksyon para sa reaction chamber ng semiconductor etching equipment.

3. Ang Semicorex poly-Si slotted rings ay maaaring makatulong sa pagsasaayos ng electric field at chamber pressure, kaya pinipigilan ang kawalang-tatag na makaapekto sa pagkakapare-pareho ng proseso ng pag-ukit.

Mataas na pamantayang pagpili ng materyal

Ang mga semicorex poly-Si slotted ring ay ginawa mula sa mataas na kalidad na polycrystalline silicon na may antas ng kadalisayan na higit sa 99.9999%, na nagbibigay sa kanila ng mga superior na katangian tulad ng sumusunod.

1. Napakataas ng kadalisayan at napakababang nilalaman ng karumihan.

2. Pambihirang plasma corrosion resistance.

3. Mga kanais-nais na katangian ng kuryente, na may pare-parehong pagtutol: RRG ≤ 5%, mababang res. (<0.02), middle res. (1–4), at mataas na res. (70–90).

Mga kakayahan sa paggawa at kontrol sa kalidad

Nilagyan ng advanced na kagamitan sa machining at isang may karanasang teknikal na koponan, mahigpit na kinokontrol ng Semicorex ang bawat proseso ng produksyon at nag-aalok ng de-kalidad at mahusay na katugmang poly-Si slotted ring sa aming mga pinahahalagahang customer. Bilang karagdagan, ang Semicorex ay nagsasagawa ng mahigpit na kontrol sa pagsukat ng dimensyon, pagsubok sa resistivity, at visual na inspeksyon sa natapos na poly-Si slotted rings upang matiyak na walang mga depekto tulad ng mga chips, mga gasgas, mga bitak, at mga mantsa.