Silicon Curved Electrodes

Sa panahon ng advanced na etch equipment, ang silicon curved electrode ay karaniwang naka-mount sa tuktok ng etching chamber, na nakaharap patungo sa semiconductor wafer. Ang silicon curved electrode ay karaniwang gumagana kasabay ng electrostatic chuck, Si focus ring, Si edge ring, Si exhaust ring, at Si shielding ring upang magbigay ng pinakamainam na kondisyon sa pagpapatakbo para sa high-precision etching.

Mga function ng Semicorex silikon curved electrodes

1. Tugma sa kumplikadong 3D structure etching

Sa pambihirang 3D electric field control na kakayahan, Semicorexsilikon curved electrodesmaaaring ganap na tumugma sa mga geometric na katangian ng mga kumplikadong istruktura. Ang espesyal na curved na disenyo ay nagbibigay-daan sa tumpak na kontrol ng plasma at na-optimize na pamamahagi ng enerhiya, na makabuluhang nakakaapekto sa aspect ratio at sidewall verticality ng 3D structure etching at ganap na nakakatugon sa mga kinakailangan sa production line ng mga advanced na proseso ng packaging at 3D IC integration.

2. Tumpak na Kontrol ng Etch Gas Distribution

Ang mga semicorex silicon curved electrodes ay nagtatampok ng maramihang pantay na distributed micro-hole sa kanilang ibabaw para sa etch gas na makapasok sa etching chamber. Ang mga semicorex silicon curved electrodes ay maaaring makamit ang tumpak na kontrol sa etch gas at pinapayagan itong maipamahagi nang pantay-pantay sa silid ng pag-ukit, at sa gayon ay pinapaliit ang mga pagkakaiba-iba ng proseso na dulot ng hindi pantay na pamamahagi ng gas.

Mga kalamangan ng Semicorex silikon curved electrodes

1. Napakataas na kadalisayan

Ang mga semicorex silicon curved electrodes ay gawa sa ultra-high-purity single-crystalsilikonna may antas ng kadalisayan sa itaas ng 99.9999999%, na nag-aalok ng higit na paglaban sa pagguho ng plasma. Ang mataas na pamantayang pagpili ng materyal na ito ay epektibong makakaiwas sa hindi kanais-nais na kontaminasyon na nagreresulta mula sa pag-ukit ng mga by-product habang makabuluhang pinahaba ang buhay ng serbisyo ng mga silicon curved electrodes.

2. Napakahusay na mga katangian ng kuryente

Ginawa mula sa MCZ-grown na single-crystal silicon, ang Semicorex silicon curved electrodes ay nagpapakita ng napakahusay na resistivity uniformity: ＜5%, at isang malawak na mapipiling resistivity range: low res. (<0.02), middle res. (1–4), at mataas na res. (70–90).

3. Katumpakan sa pagpoproseso ng katumpakan

Sa pamamagitan ng high-precision mechanical processing, ang Semicorex silicon curved electrodes ay nakakamit ng pare-parehong laki ng butas at pare-parehong pamamahagi ng butas. Ang kanilang mga ibabaw ay makinis na pinakintab at giniling: pinakintab (Ra <0.1 μm) at lupa (Ra <1.6 μm), na may pangkalahatang katumpakan ng machining na kinokontrol sa loob ng 0.03 mm.