Silicon Etching Rings

Ang mga silicone etching ring ay ang mahahalagang bahagi sa loob ng plasma etch chamber ng CCP/ICP etch equipment at karaniwang inilalagay sa paligid ng semiconductor wafer. Ang kanilang mga pangunahing pag-andar ay upang suportahan ang semiconductor wafer, mapanatili ang pare-parehong pamamahagi ng plasma, protektahan ang gilid ng wafer, at sa gayon ay tumulong na lumikha ng pinakamainam na mga kondisyon sa pagpapatakbo para sa proseso ng pag-ukit ng plasma.

Mga kalamangan ng Semicorex silicon etching rings

1. Premium na pagpili ng materyal

Ang mga semicorex silicon etching ring ay ginawa mula sa maingat na piniling high-purity na MCZmonocrystalline na silikon, na nag-aalok ng mga sumusunod na mahuhusay na katangian kumpara sa conventional CZ monocrystalline silicon.

Mataas na kadalisayan: Ang kadalisayan ay higit sa 99.9999999%, na nangangahulugang ang Semicorex silicon etching rings ay halos walang mga impurities. Ang napakataas na kadalisayan na ito ay epektibong makakaiwas sa interference mula sa mga dumi ng bahagi sa panahon ng proseso ng pag-ukit, sa gayo'y ginagarantiyahan ang mataas na katumpakan ng pag-ukit.

Matatag na istraktura: Ang MCZ monocrystalline silicon ay nagtatampok ng superior crystal structure na may mas mababang mga depekto kaysa sa conventional CZ monocrystalline silicon. Ang matatag na istrukturang kristal na ito ay nagbibigay sa Semicorex silicon etching rings ng pinahusay na corrosion resistance sa plasma corrosion at binibigyang-daan ang mga ito na makayanan ang malupit na mga kondisyon sa pagpapatakbo.

Napakahusay na pagkakapareho ng resistivity:Semicorex silicon etching ringsmaghatid ng pambihirang pagkakapareho ng paglaban sa RRG <5%. Mababang Res. (<0.02 Ω·cm), Middle Res. (0.2–25 Ω·cm), High Res. (>100 Ω·cm). Ang mahusay na pagkakapareho ng resistivity ay maaaring mabawasan ang hindi pantay na pamamahagi ng plasma na sanhi ng labis na mataas o mababang resistivity, na nag-aambag sa isang perpektong electric field para sa high-precision na plasma etching.

2. Precision processing at mahigpit na kalidad ng inspeksyon

Ipinagmamalaki ng Semicorex ang isang makaranasang teknikal na koponan na maaaring magbigay ng personalized na pag-customize at teknikal na mga pagsusuri para sa aming mga pinahahalagahang customer at nakapagtatag din ng sistematikong pagproseso at mga pamamaraan ng inspeksyon upang magarantiya ang kalidad ng produkto.

Mga serbisyo ng flexible na pagpapasadya: Sinusuportahan ng Semicorex ang pag-customize batay sa mga drawing ng customer, at ang maximum na custom na diameter ng mga silicon etching ring ay maaaring hanggang 470mm.

High-standard na surface treatment: Ang polishing precision ay maaaring mahigpit na kontrolin sa loob ng Ra < 0.1 µm, at ang fine grinding ay nakakamit ng surface finish na Ra > 0.1 µm.

Mahigpit na inspeksyon sa kalidad: Ang sukat na sukat, pagsubok sa resistivity, at visual na inspeksyon ay gagawin upang matiyak na ang mga silicon etching ring ay walang mga chips, gasgas, bitak, mantsa at iba pang mga depekto.