Solid Silicon Carbide Focusing Ring

Ang Semicorex Solid Silicon Carbide Focusing Ring ay isang pivotal component sa semiconductor manufacturing, na madiskarteng nakaposisyon sa labas ng wafer upang mapanatili ang direktang kontak. Sa pamamagitan ng paggamit ng isang inilapat na boltahe, ang singsing na ito ay nakatutok sa plasma na dumadaan dito, at sa gayon ay pinahuhusay ang pagkakapareho ng proseso sa wafer. Binuo lamang mula sa Chemical Vapor Deposition Silicon Carbide (CVD SiC), ang focus ring na ito ay naglalaman ng mga natatanging katangian na hinihingi ng industriya ng semiconductor. Kami sa Semicorex ay nakatuon sa pagmamanupaktura at pagbibigay ng high-performance na Solid Silicon Carbide Focusing Ring na nagsasama ng kalidad sa cost-efficiency.

Magpadala ng Inquiry

Paglalarawan ng Produkto

Sa semiconductor fabrication, ang Semicorex Solid Silicon Carbide Focusing Ring ay nagsisilbi ng isang mahalagang papel sa pamamagitan ng pagkilos bilang isang kalasag, na pinapanatili ang integridad ng wafer sa panahon ng proseso ng pag-ukit. Tinitiyak ng maselang inengineer na disenyo nito ang tumpak at pare-parehong pag-ukit, sa gayo'y pinapadali ang paggawa ng lubos na masalimuot na elemento ng semiconductor na nagpapakita ng mahusay na pagganap at pagiging maaasahan.

Ang Silicon carbide ay ang materyal na pinili para sa tumututok na singsing dahil sa higit na paglaban nito sa kaagnasan ng plasma kapag nakalantad sa plasma sa loob ng silid ng reaksyon ng vacuum. Ang Solid Silicon Carbide Focusing Ring ay higit sa tradisyonal na silikon sa ilang aspeto, kabilang ang:

(1) Mataas na density na nagpapaliit sa mga rate ng pag-ukit.

(2) Superior band gap at mahusay na mga katangian ng pagkakabukod.

(3) Pambihirang thermal conductivity, mababang thermal expansion coefficient, at thermal shock resistance.

(4) Mataas na pagkalastiko kasama ng mahusay na pagtutol sa mga mekanikal na epekto.

(5) Natitirang tigas, paglaban sa pagsusuot, at paglaban sa kaagnasan.

Ang conductivity at resistensya ng Silicon carbide sa ion etching ay katulad ng silicon, na ginagawang perpektong materyal ang Solid Silicon Carbide Focusing Ring para sa application na ito.

Ang Semicorex Solid Silicon Carbide Focusing Ring ay nakatayo bilang isang makabagong solusyon sa larangan ng paggawa ng semiconductor. Ginagamit nito ang mga natatanging katangian ng CVD SiC upang mapadali ang maaasahan, mataas na pagganap na mga proseso ng pag-ukit, na makabuluhang nag-aambag sa pagsulong ng teknolohiyang semiconductor.