6 pulgadang SiC Boat

Ang Semicorex 6 Inch SiC Boat ay isang advanced na wafer carrier na idinisenyo upang i-optimize ang performance at kahusayan ng high-temperature na pagpoproseso ng semiconductor, partikular para sa mga application gaya ng oxidation, diffusion, at iba pang thermal process. Ginawa mula sa de-kalidad na silicon carbide (SiC), ang produktong ito ay nag-aalok ng matatag na solusyon para sa paghawak ng mga semiconductor wafer sa panahon ng mga kritikal na operasyong may mataas na temperatura, na nagbibigay ng mahusay na thermal stability, mahusay na corrosion resistance, at minimal na panganib sa kontaminasyon.

Ang 6 Inch SiC Boat ay ginawa gamit ang high-purity silicon carbide (SiC), isang materyal na kilala sa mga natatanging katangian ng thermal, paglaban sa kemikal, at tibay nito sa malupit na kapaligiran. Ang SiC ay malawakang ginagamit sa pagmamanupaktura ng semiconductor dahil sa mataas na melting point nito (humigit-kumulang 2,700°C), na ginagawa itong mainam para sa mga application na may mataas na temperatura tulad ng pagpoproseso ng wafer sa mga oxidation at diffusion furnace. Tinitiyak ng disenyo ng bangka ang mahusay na integridad ng istruktura at pare-parehong pamamahagi ng init, na mahalaga para sa pagkamit ng pare-parehong mga resulta sa paglago ng kristal na semiconductor, oksihenasyon, at iba pang thermal treatment.

Mga Pangunahing Tampok at Benepisyo

Mataas na Thermal Stability

Ang pambihirang thermal conductivity ng SiC ay nagsisiguro na ang 6 Inch SiC Boat ay makatiis ng matinding temperatura nang walang warping o degrading. Ang katangiang ito ay lalong mahalaga sa panahon ng mga proseso ng oksihenasyon at pagsasabog, kung saan ang tumpak na kontrol sa temperatura ay mahalaga para sa pare-parehong pagpoproseso ng wafer.

Napakahusay na Paglaban sa Kemikal

Ang likas na resistensya ng Silicon carbide sa kemikal na kaagnasan ay ginagawang perpekto ang bangka para gamitin sa mga kapaligiran kung saan karaniwan ang pagkakalantad sa mga agresibong gas, gaya ng oxygen, nitrogen, o iba pang reaktibong elemento. Ang bangka ay nagpapanatili ng integridad ng istruktura at pagganap nito sa mataas na temperatura, mga chemically reactive na kapaligiran, na binabawasan ang posibilidad ng kontaminasyon.

Mataas na Temperatura na Katatagan

Ang 6 Inch SiC Boat ay inengineered para gumanap sa mga temperaturang hanggang 1,500°C, isang kinakailangan para sa maraming proseso ng high-temperature na semiconductor, kabilang ang oxidation at diffusion. Ang pagpapaubaya sa mataas na temperatura na ito ay nagsisiguro ng mahabang buhay ng serbisyo kahit na sa mahirap na mga aplikasyon.

Mababang Panganib sa Kontaminasyon

Ang isa sa mga kritikal na kadahilanan sa pagproseso ng semiconductor ay ang pagliit ng kontaminasyon sa ibabaw ng wafer. Tinitiyak ng mababang antas ng karumihan ng SiC at hindi reaktibong kalikasan na ang 6 Inch SiC Boat ay nag-aambag sa isang malinis at kontroladong kapaligiran, sa gayon ay binabawasan ang panganib ng hindi gustong kontaminasyon sa panahon ng pagproseso.

Uniform Wafer Support

Tinitiyak ng disenyo ng bangka na ang mga wafer ay suportado nang pantay-pantay, pinapanatili ang pinakamainam na pagkakahanay ng wafer at pinipigilan ang anumang sagging o misalignment sa panahon ng pagproseso ng mataas na temperatura. Ang pare-parehong suportang ito ay mahalaga para matiyak ang pare-parehong mga resulta at maiwasan ang mga depekto ng wafer.

Mga Pagpipilian sa Pag-customize

Maaaring i-customize ang 6 Inch SiC Boat upang magkasya sa mga partikular na pangangailangan ng customer, kabilang ang mga iniangkop na laki, hugis, at configuration para sa iba't ibang uri ng wafer. Ginagamit man para sa oxidation, diffusion, o iba pang mga thermal na proseso, maaaring i-optimize ang bangka para sa partikular na daloy ng proseso ng customer.

Mga Aplikasyon sa Semiconductor Manufacturing

Ang 6 Inch SiC Boat ay pangunahing ginagamit sa mga prosesong thermal na may mataas na temperatura sa paggawa ng semiconductor. Ito ay lalong epektibo sa oxidation at diffusion furnaces, kung saan ang tumpak na kontrol sa temperatura at atmospera ay kinakailangan para sa matagumpay na pagpoproseso ng wafer.

• Proseso ng Oksihenasyon: Sa panahon ng proseso ng oksihenasyon, ang mga silicon na wafer ay nakalantad sa oxygen sa mataas na temperatura upang bumuo ng isang manipis na layer ng silicon dioxide sa ibabaw ng wafer. Tinitiyak ng 6 Inch SiC Boat na ang mga wafer ay hawak nang ligtas at pantay-pantay sa panahon ng prosesong ito na may mataas na temperatura, na pumipigil sa deformation o misalignment at tinitiyak ang pare-parehong paglaki ng layer ng oxide.
• Proseso ng Diffusion: Sa proseso ng pagsasabog, ang mga dopant ay ipinapasok sa silicon wafer upang baguhin ang mga katangian ng kuryente nito. Ang SiC Boat ay nagbibigay ng matatag at maaasahang suporta para sa mga wafer sa panahon ng kritikal na hakbang na ito, kung saan ang mataas na temperatura at tumpak na kontrol sa kapaligiran ng pagsasabog ay higit sa lahat. Tinitiyak ng mahusay na thermal stability nito ang pare-parehong pag-init, na mahalaga para sa pagkamit ng nais na profile ng dopant.
• Iba pang Mataas na Temperatura na Aplikasyon: Higit pa sa oxidation at diffusion, ang 6 Inch SiC Boat ay maaaring gamitin sa iba pang mga prosesong may mataas na temperatura, gaya ng annealing, nitridation, at epitaxial growth. Ang mataas na thermal conductivity at paglaban nito sa thermal shock ay ginagawa itong isang maraming nalalaman na solusyon para sa iba't ibang yugto ng paggawa ng semiconductor device.

Mga Bentahe Kumpara sa Iba Pang Materyal

Kung ikukumpara sa mga tradisyunal na materyales tulad ng quartz o graphite, ang silicon carbide ay nag-aalok ng mga makabuluhang pakinabang sa paggawa ng semiconductor. Ang mga quartz boat ay mas madaling kapitan sa thermal shock at mga reaksiyong kemikal, habang ang mga graphite boat ay maaaring mawalan ng gas at magpasok ng kontaminasyon. Ang mga SiC boat, sa kabilang banda, ay nagpapanatili ng kanilang pagganap sa malupit na kapaligiran nang walang panganib ng kontaminasyon, thermal instability, o degradation. Ginagawa nitong mas maaasahan at mahusay na pagpipilian ang 6 Inch SiC Boat para sa pagproseso ng high-temperature na semiconductor.

Ang Semicorex 6 Inch SiC Boat ay isang kritikal na bahagi sa industriya ng semiconductor, na nagbibigay ng kinakailangang stability, chemical resistance, at thermal performance na kinakailangan para sa advanced na pagpoproseso ng wafer. Ang mataas na thermal conductivity nito, paglaban sa chemical corrosion, at minimal na panganib sa kontaminasyon ay ginagawa itong mainam na pagpipilian para sa oxidation, diffusion, at iba pang high-temperature na proseso ng semiconductor. Ginagamit man sa pananaliksik at pagpapaunlad o malakihang produksyon, ang 6 Inch SiC Boat ay naghahatid ng pagganap at pagiging maaasahan na kinakailangan upang matiyak ang pinakamataas na kalidad ng mga resulta sa paggawa ng semiconductor.