Batch Wafer Boat

Nagbibigay ang Semicorex ng mga wafer boat, pedestal, at custom na wafer carrier para sa parehong vertical / column at horizontal configuration. Kami ay tagagawa at tagapagtustos ng silicon carbide coating film sa loob ng maraming taon. Ang aming Batch Wafer Boat ay may magandang bentahe sa presyo at sumasaklaw sa karamihan ng mga merkado sa Europa at Amerika. Inaasahan naming maging iyong pangmatagalang kasosyo sa China.

Magpadala ng Inquiry

Paglalarawan ng Produkto

Ang Semicorex Batch Wafer Boat ay ginawa mula sa de-kalidad na silicon carbide ceramic na materyal para sa higit na paglaban sa kemikal at thermal stability.
Ang aming Batch Wafer Boat ay may makinis na surface finish at nagbibigay ng mahusay na suporta at proteksyon ng wafer habang pinoproseso. Tinitiyak ng SiC coating ang pagkakapareho at katatagan sa panahon ng pagproseso, pinoprotektahan ang mga wafer mula sa kontaminasyon at pinsala. May mahusay na thermal conductivity at superior mechanical strength, ang aming mga wafer holder ay nagbibigay ng pare-pareho at maaasahang mga resulta.
Ang aming pangkat ng mga eksperto ay nakatuon sa pagbibigay ng pinakamahusay na kalidad at serbisyo. Nag-aalok kami ng mga custom na disenyo upang matugunan ang iyong mga partikular na pangangailangan, at ang aming mga batch wafer boat ay sinusuportahan ng aming programa sa pagtiyak sa kalidad.

Mga Parameter ng Batch Wafer Boat

Teknikal na Katangian
Index	Yunit	Halaga
Pangalan ng Materyal		Reaksyon na Sintered Silicon Carbide	Walang Pressure na Sintered Silicon Carbide	Recrystallized Silicon Carbide
Komposisyon		RBSiC	SSiC	R-SiC
Bulk Densidad	g/cm3	3	3.15 ± 0.03	2.60-2.70
Flexural na Lakas	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
Lakas ng Compressive	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Katigasan	Pindutan	2700	2800	/
Pagsira sa Tenacity	MPa m1/2	4.5	4	/
Thermal Conductivity	W/m.k	95	120	23
Coefficient ng Thermal Expansion	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Tukoy na init	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Pinakamataas na temperatura sa hangin	℃	1200	1500	1600
Elastic Modulus	Gpa	360	410	240

Ang pagkakaiba sa pagitan ng SSiC at RBSiC:

1. Iba ang proseso ng sintering. Ang RBSiC ay upang makalusot ng libreng Si sa silicon carbide sa mababang temperatura, ang SSiC ay nabuo sa pamamagitan ng natural na pag-urong sa 2100 degrees.

2. Ang SSiC ay may mas makinis na ibabaw, mas mataas na density at mas mataas na lakas, para sa ilang mga sealing na may mas mahigpit na mga kinakailangan sa ibabaw, ang SSiC ay magiging mas mahusay.

3. Iba't ibang oras na ginamit sa ilalim ng magkaibang PH at temperatura, mas mahaba ang SSiC kaysa RBSiC

Mga Tampok ng Batch Wafer Boat

- Mataas na lakas (Mohs hardness 9.5, pangalawa lamang sa brilyante)
- Paglaban sa kaagnasan sa mga acid, alkalis, salts at organic solvents
- Mataas na thermal conductivity, plasma resistance, mahabang buhay
- Mga semikonduktor