Nagbibigay ang Semicorex ng mga wafer boat, pedestal, at custom na wafer carrier para sa parehong vertical / column at horizontal configuration. Kami ay tagagawa at tagapagtustos ng silicon carbide coating film sa loob ng maraming taon. Ang aming Ceramic Wafer Boat ay may magandang bentahe sa presyo at sumasaklaw sa karamihan ng European at American market. Inaasahan naming maging iyong pangmatagalang kasosyo sa China.
Ipinapakilala ang aming de-kalidad na silicon carbide na Ceramic Wafer Boat, na idinisenyo upang magbigay ng maaasahang solusyon para sa pagpoproseso ng wafer sa iba't ibang industriya. Ang mga ceramic pedestal na ito ay ginawa gamit ang high-purity ceramics, na nag-aalok ng mahusay na panlaban sa thermal shock, abrasion, at chemical corrosion, na ginagawa itong perpekto para sa malupit na kapaligiran sa pagpoproseso ng wafer.
Ang aming Ceramic Wafer Boat ay lubos na na-customize, at maaari kaming makipagtulungan sa iyo upang lumikha ng mga custom na pedestal upang matugunan ang iyong mga natatanging detalye. Ipinagmamalaki namin ang aming kakayahang maghatid ng mataas na kalidad, maaasahang mga produkto na nakakatugon sa mga hinihingi ng aming mga customer. Ang aming Ceramic Wafer Boat ay ginawang tumagal at nag-aalok ng mahabang buhay ng serbisyo, na tinitiyak na masulit mo ang iyong puhunan.
Umorder na at maranasan ang mga benepisyo ng aming de-kalidad na Ceramic Wafer Boat sa iyong mga operasyon sa pagpoproseso ng wafer.
Mga Parameter ng Ceramic Wafer Boat
Teknikal na Katangian |
||||
Index |
Yunit |
Halaga |
||
Pangalan ng Materyal |
Reaksyon na Sintered Silicon Carbide |
Walang Pressure na Sintered Silicon Carbide |
Recrystallized Silicon Carbide |
|
Komposisyon |
RBSiC |
SSiC |
R-SiC |
|
Bulk Densidad |
g/cm3 |
3 |
3.15 ± 0.03 |
2.60-2.70 |
Flexural na Lakas |
MPa (kpsi) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°C) 90-100(1400°C) |
Lakas ng Compressive |
MPa (kpsi) |
1120(158) |
3970(560) |
> 600 |
Katigasan |
Pindutan |
2700 |
2800 |
/ |
Pagsira sa Tenacity |
MPa m1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
Thermal Conductivity |
W/m.k |
95 |
120 |
23 |
Coefficient ng Thermal Expansion |
10-6.1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
Tukoy na init |
Joule/g 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
Pinakamataas na temperatura sa hangin |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
Elastic Modulus |
Gpa |
360 |
410 |
240 |
Ang pagkakaiba sa pagitan ng SSiC at RBSiC:
1. Iba ang proseso ng sintering. Ang RBSiC ay upang makalusot ng libreng Si sa silicon carbide sa mababang temperatura, ang SSiC ay nabuo sa pamamagitan ng natural na pag-urong sa 2100 degrees.
2. Ang SSiC ay may mas makinis na ibabaw, mas mataas na density at mas mataas na lakas, para sa ilang mga sealing na may mas mahigpit na mga kinakailangan sa ibabaw, ang SSiC ay magiging mas mahusay.
3. Iba't ibang oras na ginamit sa ilalim ng magkaibang PH at temperatura, mas mahaba ang SSiC kaysa RBSiC
Mga Tampok ng Ceramic Wafer Boat
Ginawa gamit ang high-purity alumina ceramics para sa mahusay na pagtutol sa thermal shock, abrasion, at chemical corrosion
Idinisenyo para sa pinakamainam na suporta at katatagan sa panahon ng pagpoproseso ng wafer, na pinapaliit ang panganib ng pinsala o kontaminasyon
Magagamit sa isang hanay ng mga sukat upang mapaunlakan ang iba't ibang mga diameter at kapal ng wafer
Nako-customize upang matugunan ang mga natatanging pagtutukoy
Ginawa upang tumagal at nag-aalok ng mahabang buhay ng serbisyo