Ceramic Wafer Carrier

Nagbibigay ang Semicorex ng mga semiconductor-grade ceramics para sa iyong OEM semi fabrication tool at wafer handling component na tumutuon sa mga silicon carbide layer sa mga industriya ng semiconductor. Kami ay tagagawa at supplier ng Ceramic Wafer Carrier sa loob ng maraming taon. Ang aming mga produkto ay may magandang kalamangan sa presyo at sumasaklaw sa karamihan ng mga merkado sa Europa at Amerika. Inaasahan naming maging iyong pangmatagalang kasosyo sa China.

Magpadala ng Inquiry

Paglalarawan ng Produkto

Ang Silicon Carbide Ceramic Wafer Carrier ay may mahusay na pagtutol sa kaagnasan at mahusay na pagtutol sa mataas na temperatura at thermal shock. Ang mataas na modulus ng elasticity ay nagreresulta sa mahusay na dimensional na katatagan. Bukod pa rito, mayroong zero porosity at mababang pore density ng ceramic material.
Maaari naming iproseso ang lahat ng uri ng Ceramic Wafer Carrier sa mga kinakailangan ng mga customer.

Mga Parameter ng Ceramic Wafer Carrier

Teknikal na Katangian
Index	Yunit	Halaga
Pangalan ng Materyal		Reaksyon na Sintered Silicon Carbide	Walang Pressure na Sintered Silicon Carbide	Recrystallized Silicon Carbide
Komposisyon		RBSiC	SSiC	R-SiC
Bulk Densidad	g/cm3	3	3.15 ± 0.03	2.60-2.70
Flexural na Lakas	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
Lakas ng Compressive	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Katigasan	Pindutan	2700	2800	/
Pagsira sa Tenacity	MPa m1/2	4.5	4	/
Thermal Conductivity	W/m.k	95	120	23
Coefficient ng Thermal Expansion	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Tukoy na init	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Pinakamataas na temperatura sa hangin	℃	1200	1500	1600
Elastic Modulus	Gpa	360	410	240

Gumawa ang Semicorex ng Ceramic Wafer Carrier sa tatlong anyo, Reaction sintered silicon carbide(RBSiC), Pressureless sintered silicon carbide(SSiC) at Recrystal silicon carbide(R-SiC).

Ang pagkakaiba sa pagitan ng SSiC at RBSiC:

1. Iba ang proseso ng sintering. Ang RBSiC ay upang makalusot ng libreng Si sa silicon carbide sa mababang temperatura, ang SSiC ay nabuo sa pamamagitan ng natural na pag-urong sa 2100 degrees.

2. Ang SSiC ay may mas makinis na ibabaw, mas mataas na density at mas mataas na lakas, para sa ilang mga sealing na may mas mahigpit na mga kinakailangan sa ibabaw, ang SSiC ay magiging mas mahusay.

3. Iba't ibang oras na ginamit sa ilalim ng magkaibang PH at temperatura, mas mahaba ang SSiC kaysa RBSiC

Mga Tampok ng Ceramic Wafer Carrier

Mataas na kadalisayan na SiC coated graphite
Superior na paglaban sa init at pagkakapareho ng thermal
Pinong SiC crystal na pinahiran para sa makinis na ibabaw
Mataas na tibay laban sa paglilinis ng kemikal
Ang materyal ay idinisenyo upang hindi mangyari ang mga bitak at delamination.

Magagamit na mga hugis ng silicon carbide ceramics:

● Ceramic rod / ceramic pin / ceramic plunger

● Ceramic tube / ceramic bushing / ceramic sleeve

● Ceramic ring / ceramic washer / ceramic spacer

● Ceramic disc

● Ceramic plate / ceramic block

● Ceramic na bola

● Ceramic piston

● Ceramic nozzle

● Ceramic crucible

● Iba pang mga custom na ceramic na bahagi