Custom na SiC Cantilever Paddle

Ang Semicorex Custom SiC Cantilever Paddle ay nagsisilbing kritikal na link sa pagitan ng wafer loading system at sa puso ng diffusion furnace, na responsable sa pagdadala ng mga quartz o SiC wafer boat na kargado ng mga silicon na wafer papunta sa high-temperature processing zone. Ang kanilang disenyo at materyal na mga katangian ay maingat na na-optimize para sa hinihingi na gawain:

Matatag na Cantilever Structure para sa Stable Wafer Transport:Ang cantilevered na disenyo, na nailalarawan sa pamamagitan ng isang matibay na braso na umaabot sa furnace, ay nagbibigay ng pambihirang katatagan at tumpak na kontrol sa paggalaw ng wafer. Tinitiyak nito ang maayos at walang vibration na transportasyon, na pinapaliit ang panganib ng pagkabasag ng wafer o maling pagkakahanay sa panahon ng paglo-load at pagbabawas.

Mataas na Load Capacity para sa Mahusay na Batch Processing:Ang likas na lakas at katigasan ng SiC ceramics ay nagbibigay-daan sa Custom SiC Cantilever Paddle na tumanggap ng mabibigat na kargada ng mga silicon na wafer, na nag-maximize sa throughput ng bawat diffusion cycle at nag-aambag sa mas mataas na dami ng produksyon.

Tumpak na Dimensional Control para sa Seamless Integration: Ang Custom na SiC Cantilever Paddle ay meticulously fabricated sa mga tumpak na dimensional na detalye, na tinitiyak ang perpektong akma sa loob ng diffusion furnace system at pinapadali ang tuluy-tuloy na pagsasama sa mga automated na wafer handling robot.

Ang pagpili ng SiC ceramics, partikularReaction Bonded Silicon Carbide (RBSiC)atSintered Silicon Carbide (SSiC), bilang materyal na pinili para sa Custom na SiC Cantilever Paddle ay nagmumula sa kanilang mga natatanging katangian ng pagganap sa mga kapaligirang may mataas na temperatura:

Hindi Natitinag na Katatagan ng Mataas na Temperatura: Ang Custom SiC Cantilever Paddle ay nagpapakita ng pambihirang pagtutol sa deformation at creep kahit na sa mataas na temperatura (hanggang 1600°C) na makikita sa loob ng mga diffusion furnace. Tinitiyak nito ang pare-parehong suporta sa wafer at pinipigilan ang paglubog o pagyuko na maaaring makompromiso ang pagkakapareho ng wafer.

Pambihirang Thermal Shock Resistance:Ang kakayahang makayanan ang mabilis na pagbabago ng temperatura nang walang pinsala ay napakahalaga para sa pagpapanatili ng integridad ng Custom SiC Cantilever Paddle sa hindi mabilang na mga diffusion cycle. Ang SiC ceramics ay mahusay sa bagay na ito, na pinapaliit ang panganib ng pag-crack o bali na maaaring humantong sa magastos na downtime.

Mababang Thermal Expansion para sa Tumpak na Alignment:Tinitiyak ng minimal na thermal expansion ng SiC ceramics na ang Custom SiC Cantilever Paddle ay nagpapanatili ng dimensional na katatagan nito sa malawak na hanay ng temperatura na naranasan sa panahon ng operasyon. Ito ay kritikal para sa pagpapanatili ng tumpak na pagkakahanay ng wafer sa loob ng furnace, na tinitiyak ang pare-parehong pag-init at pare-pareho ang mga profile ng pagsasabog.