End Effector para sa Wafer Handling

Ang Semicorex End Effector para sa Wafer Handling ay dimensionally precise at thermally stable, habang mayroong makinis, abrasion-resistant CVD SiC coating film upang ligtas na mahawakan ang mga wafer nang hindi nakakasira ng mga device o gumagawa ng particulate contamination, na maaaring maglipat ng mga semiconductor wafer sa pagitan ng mga posisyon sa mga kagamitan sa pagpoproseso ng wafer at mga carrier tumpak at mahusay. Ang aming high-purity silicon carbide (SiC) coating na End Effector para sa Wafer Handling ay nagbibigay ng higit na paglaban sa init, kahit na pagkakapareho ng thermal para sa pare-parehong kapal at resistensya ng epi layer, at matibay na paglaban sa kemikal.

Sa Semicorex, nakatuon kami sa pagbibigay ng mataas na kalidad, matipid na mga produkto sa aming mga customer. Ang aming End Effector para sa Wafer Handling ay may kalamangan sa presyo at ini-export sa maraming European at American market. Nilalayon naming maging iyong pangmatagalang kasosyo, na naghahatid ng pare-parehong kalidad ng mga produkto at pambihirang serbisyo sa customer.

Mga Parameter ng End Effector para sa Wafer Handling

Mga Tampok ng End Effector para sa Wafer Handling

Ang mataas na kadalisayan na SiC coating ay gumamit ng CVD method

Superior na paglaban sa init at pagkakapareho ng thermal

Pinong SiC crystal na pinahiran para sa makinis na ibabaw

Mataas na tibay laban sa paglilinis ng kemikal

Ang materyal ay idinisenyo upang hindi mangyari ang mga bitak at delamination.