Ang Semicorex ay isang malakihang tagagawa at supplier ng Silicon Carbide Coated Graphite Susceptor sa China. Nakatuon kami sa mga industriya ng semiconductor tulad ng mga silicon carbide layer at epitaxy semiconductor. Ang aming Gas Inlet Ring para sa Semiconductor Equipment ay may magandang bentahe sa presyo at sumasaklaw sa marami sa mga European at American market. Inaasahan naming maging iyong pangmatagalang kasosyo sa China.
Ang Semicorex Gas Inlet Ring para sa Semiconductor Equipment ay SiC Coated, na isang siksik, wear-resistant na silicon carbide (SiC) coating. Mayroon itong mataas na kaagnasan at mga katangian ng paglaban sa init pati na rin ang mahusay na thermal conductivity. Inilapat namin ang SiC sa manipis na mga layer papunta sa grapayt gamit ang proseso ng chemical vapor deposition (CVD).
Ang aming Gas Inlet Ring para sa Semiconductor Equipment ay idinisenyo upang makamit ang pinakamahusay na pattern ng daloy ng laminar gas, na tinitiyak ang pagiging pantay ng thermal profile. Nakakatulong ito upang maiwasan ang anumang kontaminasyon o pagkalat ng mga impurities, na tinitiyak ang mataas na kalidad na paglaki ng epitaxial sa wafer chip.
Makipag-ugnayan sa amin ngayon para matuto pa tungkol sa aming Gas Inlet Ring para sa Semiconductor Equipment.
Mga Parameter ng Gas Inlet Ring para sa Semiconductor Equipment
Pangunahing Pagtutukoy ng CVD-SIC Coating |
||
Mga Katangian ng SiC-CVD |
||
Istraktura ng Kristal |
FCC β phase |
|
Densidad |
g/cm ³ |
3.21 |
Katigasan |
Vickers tigas |
2500 |
Sukat ng Butil |
μm |
2~10 |
Kadalisayan ng Kemikal |
% |
99.99995 |
Kapasidad ng init |
J kg-1 K-1 |
640 |
Temperatura ng Sublimation |
℃ |
2700 |
Lakas ng Felexural |
MPa (RT 4-point) |
415 |
Young's Modulus |
Gpa (4pt bend, 1300℃) |
430 |
Thermal Expansion (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Thermal conductivity |
(W/mK) |
300 |
Mga Tampok ng Gas Inlet Ring para sa Semiconductor Equipment
● High purity SiC coated graphite
● Superior na paglaban sa init at pagkakapareho ng thermal
● Pinong SiC crystal na pinahiran para sa makinis na ibabaw
● Mataas na tibay laban sa paglilinis ng kemikal
● Ang materyal ay idinisenyo upang hindi magkaroon ng mga bitak at delamination.