Plasma Processing Focus Ring

Ang Semicorex Plasma processing focus ring ay espesyal na idinisenyo upang matugunan ang mataas na pangangailangan ng plasma etch processing sa industriya ng semiconductor. Ang aming advanced, high-purity na Silicon Carbide Coated Components ay binuo upang makatiis sa matinding kapaligiran at angkop para sa paggamit sa iba't ibang mga application, kabilang ang mga silicon carbide layer at epitaxy semiconductors.

Magpadala ng Inquiry

Paglalarawan ng Produkto

Ang aming Plasma processing focus ring ay lubos na matatag para sa RTA, RTP, o malupit na paglilinis ng kemikal, na ginagawa itong isang mainam na pagpipilian para sa paggamit sa mga plasma etch (o dry etch) chamber. Dinisenyo upang pahusayin ang pagkakapareho ng etch sa paligid ng wafer edge o perimeter, ang aming mga focus ring o edge ring ay ginawa upang mabawasan ang kontaminasyon at hindi naka-iskedyul na pagpapanatili.

Ang aming SiC Coating ay isang siksik, wear-resistant na silicon carbide coating na may mataas na kaagnasan at mga katangian ng paglaban sa init pati na rin ang mahusay na thermal conductivity. Inilapat namin ang SiC sa manipis na mga layer papunta sa grapayt gamit ang proseso ng chemical vapor deposition (CVD). Tinitiyak nito na ang aming mga SiC Focus Ring ay may napakahusay na kalidad at tibay, na ginagawa itong maaasahang pagpipilian para sa iyong mga pangangailangan sa pagproseso ng plasma etch.

Makipag-ugnayan sa amin ngayon para matuto pa tungkol sa aming Plasma processing focus ring.

Mga parameter ng Plasma processing focus ring

Pangunahing Pagtutukoy ng CVD-SIC Coating
Mga Katangian ng SiC-CVD
Istraktura ng Kristal	FCC β phase
Densidad	g/cm ³	3.21
Katigasan	Vickers tigas	2500
Sukat ng Butil	μm	2~10
Kadalisayan ng Kemikal	%	99.99995
Kapasidad ng init	J kg-1 K-1	640
Temperatura ng Sublimation	℃	2700
Lakas ng Felexural	MPa (RT 4-point)	415
Young's Modulus	Gpa (4pt bend, 1300℃)	430
Thermal Expansion (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Thermal conductivity	(W/mK)	300

Mga tampok ng Plasma processing focus ring

- CVD Silicon Carbide coatings upang mapabuti ang buhay ng serbisyo.

- Thermal insulation na gawa sa high-performance na purified rigid carbon.

- Carbon/Carbon composite heater at plate. - Parehong ang graphite substrate at silicon carbide layer ay may mataas na thermal conductivity, at mahusay na mga katangian ng pamamahagi ng init.

- High-purity graphite at SiC coating para sa pinhole resistance at mas mataas na buhay