Tube ng Proseso para sa Mga Diffusion Furnace

Ang semicorex process tube para sa mga diffusion furnace ay karaniwang gawa sa high-purity na SiC na may CVD SiC coating. Ang mga materyales na ito ay pinili para sa kanilang mahusay na thermal stability at paglaban sa kinakaing unti-unti na mga gas at mataas na temperatura.

Ang tubo ng proseso ng semicorex para sa mga diffusion furnace ay cylindrical sa hugis, na may saradong dulo at bukas na dulo. Ito ay ipinasok sa diffusion furnace, na bumubuo ng isang selyadong silid kung saan nagaganap ang proseso ng pagsasabog. Ang tubo ay maingat na idinisenyo upang maiwasan ang anumang pagtagas ng mga gas at mapanatili ang isang kontroladong kapaligiran sa loob ng hurno.

isang prosesong tubo para sa diffusion furnaces ay gumaganap ng isang mahalagang papel sa paggawa ng mga semiconductor device. Nagbibigay ito ng kinokontrol na kapaligiran para sa mga proseso ng pagsasabog, tinitiyak ang magkakatulad na mga profile ng doping at tumpak na kontrol sa mga parameter ng proseso. Ang paggamit ng mga materyales na may mataas na kadalisayan at maingat na pagsasaalang-alang sa disenyo ay nakakatulong na mapanatili ang integridad ng tubo ng proseso at matiyak ang paggawa ng mga de-kalidad na semiconductor wafer.