Robot End Effector

Ang Semicorex ay isang nangungunang independent na pagmamay-ari na tagagawa ng Silicon Carbide Coated Graphite, Precision Machined High Purity Graphite na tumutuon sa Silicon Carbide Coated Graphite, Silicon Carbide Ceramic, MOCVP na mga lugar ng paggawa ng semiconductor. Ang aming Robot End Effector ay may magandang kalamangan sa presyo at sumasaklaw sa marami sa mga European at American market. Inaasahan naming maging iyong pangmatagalang kasosyo sa China.

Magpadala ng Inquiry

Paglalarawan ng Produkto

Ang Robot End Effector ay ang kamay ng robot na nagpapagalaw ng mga semiconductor na wafer sa pagitan ng mga posisyon sa kagamitan sa pagpoproseso ng wafer at mga carrier. Ang Robot End Effector ay dapat na dimensionally precise at thermally stable, habang may makinis, abrasion-resistant na ibabaw upang ligtas na mahawakan ang mga wafer nang hindi nakakasira ng mga device o gumagawa ng particulate contamination. Ang aming high-purity silicon carbide (SiC) coating na Robot End Effector ay nagbibigay ng mahusay na heat resistance, kahit na thermal uniformity para sa pare-parehong kapal at resistensya ng epi layer, at matibay na paglaban sa kemikal.

Mga Parameter ng Robot End Effector

Pangunahing Pagtutukoy ng CVD-SIC Coating
Mga Katangian ng SiC-CVD
Istraktura ng Kristal	FCC β phase
Densidad	g/cm ³	3.21
Katigasan	Vickers tigas	2500
Sukat ng Butil	μm	2~10
Kadalisayan ng Kemikal	%	99.99995
Kapasidad ng init	J kg-1 K-1	640
Temperatura ng Sublimation	℃	2700
Lakas ng Felexural	MPa (RT 4-point)	415
Young's Modulus	Gpa (4pt bend, 1300℃)	430
Thermal Expansion (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Thermal conductivity	(W/mK)	300