SiC Bangka

Ang Semicorex SiC Boats ay masinsinang ginawa mula sa high-purity na SiC ceramic, isang materyal na ipinagdiriwang para sa walang kaparis na thermal stability, pambihirang lakas ng makina, at hindi natitinag na chemical inertness. Ang mga katangiang ito ay ginagawa itong perpektong pagpipilian para sa mahigpit na mga kondisyon ng paggawa ng semiconductor.

Ipinagmamalaki ng SiC Boats ang walang kapantay na mekanikal na lakas at tibay, dahil sa tigas ng materyal at pambihirang pagtutol sa pagsusuot. Ito ay nagbibigay-daan sa kanila upang matiis ang hinihingi na katangian ng high-throughput na mga kapaligiran ng produksyon ng semiconductor nang hindi sumusuko sa unti-unting pagkasira. Hindi tulad ng iba pang mga materyales, pinapanatili ng SiC ang integridad ng istruktura nito sa paglipas ng panahon, na makabuluhang binabawasan ang pangangailangan para sa madalas na pagpapalit at pagliit ng downtime sa mga operasyon sa pagmamanupaktura - sa huli ay humahantong sa malaking pagtitipid sa gastos para sa mga tagagawa ng semiconductor.

Ang chemical inertness ng SiC ay higit na nagpapatibay sa pagiging angkop nito para sa mga proseso ng semiconductor sa pamamagitan ng pagbibigay nito ng lubos na lumalaban sa chemical attack mula sa mga reaktibong gas at karaniwang ginagamit na mga materyales tulad ng chlorine at fluorine. Tinitiyak ng matatag na paglaban na ito na ang mga bangkang SiC ay hindi nakakahawa sa mga wafer sa panahon ng pagproseso, sa gayon ay pinapanatili ang kadalisayan at kalidad ng mga aparatong semiconductor na ginagawa. Para sa mga prosesong nangangailangan ng mas mataas na antas ng paglaban sa kemikal, ang SiC Boats ay maaaring lagyan ng karagdagang layer ng SiC, na nagbibigay ng karagdagang hadlang laban sa pag-atake ng kemikal at pinatataas ang ibabaw ng bangka upang mabawasan ang panganib ng kontaminasyon ng particulate.

Ang mataas na kadalisayan ng SiC ceramic na ginagamit sa mga bangka ay kritikal, dahil ang paggawa ng semiconductor ay nag-uutos ng mga materyales na may kaunting mga dumi. Kahit na ang mga bakas na dami ng mga contaminant ay maaaring makapinsala sa mga electrical properties ng mga wafer at magresulta sa mga depekto sa mga huling device. Ang mga SiC Boats ay inengineered mula sa ultra-high-purity na SiC ceramic upang matiyak na wala silang mga impurities sa kapaligiran ng proseso, kahit na sa mataas na temperatura at reaktibong kondisyon na tipikal ng semiconductor fabrication. Ang kadalisayan na ito ay nagpapatibay sa pagiging maaasahan ng SiC Boats para sa mga kritikal na hakbang sa proseso.

Ang pagiging tugma ng SiC Boats na may iba't ibang kagamitan sa semiconductor ay higit sa lahat. Ang versatility ng SiC ay nagbibigay-daan dito na tumpak na ma-machine upang umangkop sa mga partikular na dimensyon at pagsasaayos na kinakailangan ng iba't ibang uri ng semiconductor furnace at reactor, na ginagawang angkop ang mga ito para sa malawak na hanay ng mga aplikasyon, mula sa maliliit na operasyon ng pananaliksik at pagpapaunlad hanggang sa malalaking linya ng produksyon. Bukod pa rito, ang pambihirang thermal conductivity at heat dissipation ng materyal ay nag-aambag sa mas mahusay na pagkontrol sa temperatura sa panahon ng pagpoproseso, na higit na nagpapahusay sa performance at yield ng mga semiconductor device.