Sic cantilever paddles

Ang Semicorex sic cantilever paddles ay mga sangkap na may mataas na pagganap na idinisenyo nang tumpak para sa paghawak ng wafer at transportasyon ng wafer sa semiconductor thermal processing kagamitan (LPCVD, PECVD, oksihenasyon, at pagsasabog ng mga hurno). Ang mga cantilever paddles na ito ay nagbibigay ng isang platform para sa mga wafer at isang kinakailangang anyo ng suporta na nagsisiguro ng matatag at maaasahang transportasyon ng mga malutong na wafer sa pamamagitan ng malupit na mga proseso ng mataas na temperatura (madalas na lumampas sa 1200 ° C). Ang mga cantilever paddles ay ginawa mula sa mataas na kadalisayan na silikon na karbida (sic) na nagbibigay ng mekanikal na tibay, thermal stabil, at mga anti-corrosive na katangian para sa kapaligiran ng semiconductor na katha.

Ang Silicon Carbide ay isang super-premium na ceramic material na may mahusay na thermal conductivity, mababang thermal expansion, at ang kakayahang magsagawa ng maaasahan sa mga kemikal na pagalit na kapaligiran. Ang silikon na karbida sa mga paddles ng cantilever ay makakatulong na mabawasan ang thermal warping

 at paggalaw na nagpapanatili ng mga wafer na patag at sa kanilang nominal na posisyon sa pagproseso. Ang katatagan ng thermal ng wafer sa konteksto ng mga cantilever paddles ay mahalaga upang mabawasan ang mga isyu ng kontaminasyon ng butil at paggalaw ng mekanikal lalo na kung gumagawa ng mga advanced na aparato ng node. Ang mga isyung ito ay maaaring magresulta sa pagkawala ng ani o magastos na rework at kapalit ng mga wafer.

Ang monolitikong anyo ng SIC cantilever paddles ay nagpapabuti sa mekanikal na katatagan at pagkakapareho ng thermal habang tinatanggal ang mga kasukasuan at mahina na mga puntos na karaniwang maaaring umiiral sa mga composite. Bukod dito, ang pagtatapos ng ibabaw ng mga paddles ay partikular na kinokontrol, at sa pangkalahatan ay pinakintab sa isang malapit na kalidad ng salamin upang mabawasan ang henerasyon ng particulate at napaka-malinis na klase ng klase.

Sa mga proseso ng pagsasabog at oksihenasyon na nagsasangkot ng oxygen, singaw at iba pang mga reaktibo na gas; Ang mga maginoo na materyales ay maaaring matunaw o mabigo sa paglipas ng panahon. Tinitiyak ng likas na pag -aari ng kemikal ng SIC na tinitiyak ng mga paddles na hindi mapalabas, o mai -corrode at ipakilala ang kontaminasyon sa proseso dahil sa paggamit ng mga hindi matatag na materyales, na nag -aambag sa isang mas matatag na proseso at maaasahang mga resulta.  Ang istruktura ng istruktura ng SIC cantilever paddles ay nananatiling matatag sa kabila ng mabilis na pagbibisikleta ng pag -init at paglamig. Samakatuwid, nag -aalok sila ng mahabang buhay ng serbisyo sa pagpapatakbo na may lubos na nabawasan ang pagpapanatili o bahagi ng kapalit na downtime.

Bilang karagdagan, ang nabawasan na masa at magaan na timbang ng mga paddles ng SIC ay nagbibigay -daan para sa isang mas mabilis na tugon ng thermal; Sa gayon pinapayagan ang mas mabilis na thermal ramp-up at cool-down na mga oras na nag-aambag sa pagtaas ng pagiging produktibo at kahusayan ng enerhiya, lahat ng mga pangunahing sukatan sa mapagkumpitensyang tanawin ng paggawa ng semiconductor.

Ang SIC cantilever paddles ay maaaring ibigay sa iba't ibang mga pagsasaayos at laki, na dinisenyo at ginawa upang mapaunlakan ang iba't ibang mga disenyo ng hurno at mga sukat ng wafer na mula sa 100 mm hanggang 300 mm at mas malaki. Pinahahalagahan ng mga OEM at integrator ng kagamitan ang pagkakapare-pareho at pagiging maaasahan ng mga paddles ng SIC sa paglipas ng panahon, para sa mga pag-deploy sa parehong mga proseso sa harap at back-end.

Nag -aalok ang Semicorex ng Premium SIC cantilever paddles na may mahigpit na kontrol sa materyal na kadalisayan, microstructure, at dimensional na pagpapaubaya. Ang aming mga advanced na kakayahan sa proseso, kasabay ng aming kaalaman sa semiconductor thermal dynamics, ay nagbibigay -daan sa amin upang makabuo ng mga paddles na may mga katangiang ito na nakakatugon o lumampas sa mga pamantayan sa industriya para sa katatagan, kalinisan, at tibay. Kapag kailangan itong maging tama at maaasahan, ang Semicorex ay ang lugar na pupuntahan para sa kalidad ng mga sangkap ng SIC.