Sic ceramic boat

Ang Semicorex sic ceramic boat ay mga state-of-the-art carriers na espesyal na idinisenyo upang ligtas na magdala, mag-imbak at magproseso ng mga wafer ng semiconductor sa pinaka-hinihingi na kemikal at thermally matinding mga kapaligiran. Ang industriya ng semiconductor ay mabilis na nagpatibay ng mga bagong pamantayan sa pagganap na nangangailangan ng mga SIC ceramic boat na mapagkakatiwalaan, mapagkakatiwalaan, at walang kontaminasyon na makamit ang hindi mapagpanggap at kritikal na mga kahilingan para sa mga modernong proseso ng katha ng wafer.

Malakas na katatagan at lakas ng thermal

Ang pagtukoy ng katangian ng SIC ceramic boat ay ang napakataas na katatagan ng thermal. Ang SIC ceramic boat ay maaaring magtiis ng temperatura na higit sa 1600 ° C nang hindi nawawala ang kanilang hugis o istraktura sa panahon ng mga agresibong proseso ng pagbibisikleta ng thermal. Dahil sa ultra-mababang thermal expansion coefficient, ang SIC ceramic boat ay hindi gaanong madaling kapitan ng pagbaluktot at pag-crack, na nagpapahintulot sa masikip na pagpapaubaya at pangkalahatang kaligtasan ng wafer sa panahon ng paghawak sa ilalim ng matigas na mga kondisyon.

Mataas na kadalisayan at paglaban sa kemikal

Ang Sic ceramic boat ay gawa sa labas ng ultra-mataas na kadalisayan ng silikon na karbida. Ang Sic ceramic boat ay lubos na lumalaban sa pagkasira ng kemikal, kinakaing unti -unti, at eroding plasma. Ang hindi gumagalaw na kalikasan ng mga bangka ng SIC ceramic ay nangangahulugang mga proseso ng mga kinakaing unti -unting gas, mga reaktibo na kapaligiran, ang mga kondisyon ng acidic ay bubuo ng alinman sa hindi kontaminasyon mula sa bangka o walang natutunaw upang makapinsala sa proseso ng pagtatrabaho. Ang hindi kontaminadong ibabaw ng SIC ceramic boat ay nagbibigay-daan sa walang henerasyon ng butil o pag-leaching ng ion kaya't ang isang wafer na ibabaw ay hindi napanganib sa pamamagitan ng mga impurities na humahadlang sa pagganap ng aparato o ani.

Ang katumpakan na engineering para sa ligtas at ligtas na paghawak ng wafer

Ang SIC ceramic boat ay ginawa sa loob ng masikip na pagpapaubaya, na nagpapahintulot sa kanila na hawakan ang mga wafer ng iba't ibang mga diametro, kabilang ang 100 mm, 150 mm, 200 mm, 300 mm, at marami pa. Ang disenyo ng istruktura ng mga bangka ng SIC ay nagbibigay ng mahusay na flatness, parallelism, at pantay na laki ng slot upang mapanatili ang wastong orientation ng pagtulo ng wafer at protektahan ang mga gilid ng wafer kapag lumilipat sa ibang proseso o tool. Ang lahat ng mga bangka ng SIC ay maaaring idinisenyo gamit ang mga pasadyang sukat upang tumugma sa set ng tool o matugunan ang anumang mga pagtutukoy sa automation.

Mahabang buhay at mas mahusay na gastos

Pinalitan ng SIC ang mga tradisyunal na materyales (kuwarts, alumina) na may makabuluhang pinabuting lakas ng mekanikal, katigasan ng bali at paglaban sa thermal shock. Ang antas ng tibay na ito ay isinasalin sa isang mas mahabang buhay bago ang "pagkabigo," makabuluhang mas kaunting mga kapalit sa panahon ng operasyon, at mas mababang kabuuang halaga ng pagmamay -ari. Ang pare -pareho sa pagganap mula sa tibay ng SIC ay magbabawas ng mga oras at pabilisin ang throughput sa mga linya ng pagmamanupaktura ng semiconductor.

Buksan ang mga aplikasyon sa mga proseso ng semiconductor

Ang mga bangka ng SIC Ceramic ay malawakang ginagamit sa mga proseso ng semiconductor sa harap tulad ng:

LPCVD at PECVD Deposition

Thermal oxidation

Ion implantation

Pagsasama at pagsasabog

Paglilinis ng Wafer at pagproseso ng kemikal

Ang mga paghawak ng ceramic ng SIC ay may katugmang mga aplikasyon sa pagproseso sa parehong mga silid ng proseso ng vacuum, na ginagawa itong isang mainam na pagpipilian para sa mga foundry at tela na naghahanap upang mabawasan at mabawasan ang panganib ng kontaminasyon habang pinapahusay ang pagiging produktibo.