SIC Ceramic Cantilever Paddles

SemicorexSIC ceramic cantilever paddlesay mga mahahalagang bahagi para sa paglipat ng mga wafer carrier papasok at palabas ng mga furnace. Malawakang ginagamit ang mga ito sa mga thermal processing equipment tulad ng oxidation, diffusion at LPCVD (Low-Pressure Chemical Vapor Deposition) furnaces sa photovoltaic at semiconductor manufacturing.

Dahil sa mahusay na mekanikal na lakas, thermal stability, high-temperature resistance, oxidation resistance, thermal shock resistance at chemical corrosion resistance ng reaction-bonded silicon carbide (RBSIC), ito ay angkop para sa paggawa ng malalaking sukat na silicon carbide cantilever paddles.

SemicorexSIC ceramicNakukuha ng mga cantilever paddle ang kanilang mataas na load-bearing capacity mula sa likas na mekanikal na lakas at tigas ng mataas na kalidad na reaction-bonded silicon carbide (RBSiC) na materyal. May kakayahang mapanatili ang mabigat na pagkarga ng mga silicon na wafer, ang mga paddle na ito ay nag-o-optimize ng throughput para sa mga indibidwal na diffusion cycle at tumutulong sa pagpapabuti ng kahusayan sa produksyon.

Ang superyor na materyal na katangian ng reaction-bonded silicon carbide ay nagbibigay-daan sa SIC ceramic cantilever paddles na magkaroon ng mahusay na katatagan sa mga high-temperature operating environment, na tinitiyak ang concentricity ng silicon wafer at ang furnace tube, na ginagawang mas pare-pareho ang mga proseso tulad ng diffusion at passivation. Ang katatagan na ito ay epektibong iniiwasan ang deformation o pinsala sa silicon carbide cantilever paddle na dulot ng mataas na temperatura at mabigat na pagkarga, na binabawasan ang panganib na magresulta sa pagkasira ng silicon wafer o pagkabigo ng kagamitan.

Ang Semicorex SiC ceramic cantilever paddles ay gumagamit ng single-piece 3D printing na proseso, na mahalaga sa pagpapanatili ng dimensional na katumpakan at pagkakapare-pareho ng hugis ng mga bahagi. Ang disenyong ito ng SiC ceramic cantilever paddles ay tumitiyak din ng tuluy-tuloy na pagkakatugma sa mga sistema ng diffusion furnace. Ang kanilang matatag na istruktura ng cantilever ay nagbibigay-daan sa maayos, walang vibration na paglilipat, na nagpapaliit sa pagkakataon ng pagkabasag o paglihis ng wafer kapag naglo-load at nag-aalis.

Ang kalidad ay isang pangunahing priyoridad para sa Semicorex. Ang lahat ng natapos na silicon carbide cantilever paddle ay kinakailangang sumailalim sa maramihang mga pamamaraan ng pagsubok, kabilang ang mga pagsusuri sa katumpakan ng dimensional, mga pagsusuri sa materyal na ari-arian, upang magarantiya ang higit na kalidad nito. Kung mayroon kang anumang mga pangangailangan sa pagbili, mangyaring huwag mag-atubiling makipag-ugnay sa amin.