SiC Ceramic Wafer Boat

Ang pagpili ng maaasahan at matibay na wafer boat ay mahalaga upang matiyak ang katatagan ng proseso at ang ani ng wafer sa panahon ng mataas na temperatura at mataas na kaagnasan na mga kondisyon ng pagpapatakbo. SemicorexSiC ceramicAng mga wafer boat ay ang mainam na pagpipilian para sa mga layuning ito sa pamamagitan ng pagpoproseso ng kanilang maramihang mga pakinabang kabilang ang mataas na pagsasama, mataas na katatagan, mataas na temperatura na resistensya, wear resistance, at mahabang buhay ng serbisyo.

Mga napiling premium na hilaw na materyales

Ang kontrol sa kalidad ng SemicorexSiC ceramic wafer bangkanagsisimula sa kanilang mahigpit na pagpili ng hilaw na materyales. Ang mga semicorex SiC ceramic wafer boat ay gawa sa high-purity na semiconductor-level na silicon carbide powder sa pamamagitan ng high-temperature sintering. Salamat sa kanilang premium na hilaw na materyal, naghahatid sila ng sumusunod na pambihirang pagganap.

1. Napakataas na kadalisayan, mababang kontaminasyon ng karumihang metal.

2. Siksik na istraktura ng materyal, nagpapababa ng kontaminasyon ng wafer na dulot ng pagbuhos ng butil.

3. Napakahusay na paglaban sa kaagnasan laban sa plasma, malakas na acids at alkalis.

4. Mataas na tigas at mekanikal na lakas, wear at scratch resistant.

5. Natitirang thermal stability, walang deformation o creep sa 1250°C.

6. Napakahusay na thermal shock resistance, binabawasan ang thermal stress mula sa mabilis na pagbabago ng temperatura.

Pinag-isipang customized na disenyo

Ang mga Semicorex SiC ceramic wafer boat ay mahusay na tumutugma sa maraming nangungunang furnace OEM sa industriya, gaya ng TEL, ASM, at Kokusai Electric. Nag-aalok ang Semicorex ng mga custom-engineered na solusyon para sa aming mga pinahahalagahang customer, na sumusuporta sa pag-customize ng mga dimensyon ng wafer boat, slot pitch, slot depth, slot profile (V-shape o U-shape), at kaukulang mga anggulo para ma-enable ang perpektong compatibility sa iyong equipment at mga kinakailangan sa pagproseso.

Precision machining accuracy

Naka-back sa mga advanced na kagamitan sa machining at mga mature na teknolohiya sa pagpoproseso, nagagawa ng Semicorex na mahigpit na kontrolin ang mga sukat at pagpapahintulot ng kanilang mga SiC ceramic wafer boat. Tinitiyak ng high-precision na dimensional na kontrol na ito na ang mga semiconductor wafer ay matatag na nakaposisyon habang tumatakbo, na epektibong pumipigil sa pagkasira ng wafer na nagreresulta mula sa pagkadulas o pagtagilid. Pagkatapos ng precision machining, matitiyak ng pantay na espasyo ng mga slot ng SiC ceramic wafer boat na ang bawat wafer ay pinainit at pare-parehong tumutugon sa panahon ng oxidation, diffusion, at mga proseso ng CVD, na lubos na nakakatulong sa pagpapabuti ng process consistency at semiconductor chip yield.