Mga SiC Focus Ring

Ang Semicorex advanced, high-purity SiC Focus Rings ay binuo upang makatiis sa matinding kapaligiran sa plasma etch (o dry etch) chambers. Nakatuon kami sa mga industriya ng semiconductor tulad ng mga silicon carbide layer at epitaxy semiconductor. Ang aming mga produkto ay may magandang kalamangan sa presyo at sumasaklaw sa marami sa mga merkado sa Europa at Amerika. Inaasahan naming maging iyong pangmatagalang kasosyo sa China.

Magpadala ng Inquiry

Paglalarawan ng Produkto

Ang mga supply ng Semicorex na SiC Focus Ring ay talagang matatag para sa RTA, RTP o malupit na paglilinis ng kemikal. Ang mga SiC Focus Ring o edge ring ay idinisenyo upang mapabuti ang pagkakapareho ng etch sa paligid ng wafer edge o perimeter. I-minimize ang kontaminasyon at hindi naka-iskedyul na pagpapanatili na may mataas na kadalisayan na mga bahagi na ininhinyero para sa kahirapan ng pagproseso ng plasma etch. Ang aming SiC Focus Rings na may SiC Coating ay isang siksik, wear-resistant na silicon carbide (SiC) coating. Mayroon itong mataas na kaagnasan at mga katangian ng paglaban sa init pati na rin ang mahusay na thermal conductivity. Inilapat namin ang SiC sa manipis na mga layer papunta sa grapayt gamit ang proseso ng chemical vapor deposition (CVD).

Mga Parameter ng SiC Focus Ring

Pangunahing Pagtutukoy ng CVD-SIC Coating
Mga Katangian ng SiC-CVD
Istraktura ng Kristal	FCC β phase
Densidad	g/cm ³	3.21
Katigasan	Vickers tigas	2500
Sukat ng Butil	μm	2~10
Kadalisayan ng Kemikal	%	99.99995
Kapasidad ng init	J kg-1 K-1	640
Temperatura ng Sublimation	℃	2700
Lakas ng Felexural	MPa (RT 4-point)	415
Young's Modulus	Gpa (4pt bend, 1300℃)	430
Thermal Expansion (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Thermal conductivity	(W/mK)	300

Mga Tampok ng SiC Focus Ring

- CVD Silicon Carbide coatings upang mapabuti ang buhay ng serbisyo.

- Thermal insulation na gawa sa high-performance na purified rigid carbon.

- Carbon/Carbon composite heater at plate. - Parehong ang graphite substrate at silicon carbide layer ay may mataas na thermal conductivity, at mahusay na mga katangian ng pamamahagi ng init.

- High-purity graphite at SiC coating para sa pinhole resistance at mas mataas na buhay