SIC oxidation tube

Ang Semicorex sic oxidation tube ay itinayo mula sa mataas na kadalisayan na silikon na karbid na dinisenyo para sa oksihenasyon, pagsasabog, o mga proseso ng pagsusubo na karaniwang ginanap sa 1600 ° C. Bilang bahagi ng isang hurno ng SIC, pahalang o patayo, ito ang kinokontrol na kapaligiran na ang mga wafer ay pinainit habang nag -oxidizing. Ang pag -andar ng tubo ng oksihenasyon ay upang magbigay ng isang malinis, pantay at matatag na kapaligiran para sa thermal na paggamot ng silikon na karbida (sic) wafers sa katha ng mga aparato ng kuryente at malawak na bandgap semiconductors, bilang siwang ng patuloy na potensyal na proseso ng pag -oxidizing, ang tubo ng oksihenasyon ay kumikilos bilang isang maaaring ma -target para sa unang paggamit. Habang ang mga quartz at alumina tubes ay madalas na natagpuan na bumabagsak sa paglipas ng panahon sa pamamagitan ng devitrification, warping, o breakdown ng kemikal, ang silikon na karbida ay may pambihirang tibay laban sa mga hamon ng thermal shock, mekanikal na pagpapahusay ng pag -aari, at kawalang -kilos ng kemikal. Ang mga salik na ito ay nagbubunga ng silikon na karbida bilang isang mahusay na pagpipilian para sa mga tubo ng oksihenasyon sa mataas na pagiging maaasahan, mataas na mga kapaligiran ng throughput.

Gamit ang mga advanced na form ng pagbuo tulad ng malamig na isostatic na pagpindot at walang presyur na sintering (o recrystallization), ang Semicorex ay gumagawa ng mga tubo ng oksihenasyon na may siksik, masikip, at homogenous microstructure. Nagbibigay ito ng lakas nang walang panganib ng porosity, na nagpapahintulot sa proseso ng oksihenasyon na magpatuloy nang walang kontaminasyon. Ang SIC ay may napakataas na thermal conductivity, na nagpapahintulot sa pantay na pamamahagi ng thermal sa wafer load zone at sa gayon binabawasan ang mga thermal gradients na maaaring maging sanhi ng mga warped wafer o depekto. Ang pagtutol ng tubo sa mga acid, base, at reaktibo na gas ay pumipigil sa hindi ginustong mga pakikipag -ugnay sa kemikal na may wafer na ibabaw at sa pamamagitan ng kapaligiran ng pugon.

Hindi ito gumagapang, hindi ito deform. Ang tubo ay hindi kailangang mapalitan pagkatapos ng maraming mga siklo ng paggawa-ito ay pangmatagalang mga thermal cycling na kapaligiran na kung hindi man masisira ang mas kaunting mga materyales. Samakatuwid, walang mataas na mga pagkagambala sa dalas ay nangangahulugang mababang mga gastos sa operating, at pinapanatili nito ang daloy ng proseso nang walang mga pagkagambala. Binabawasan din nito ang mga panganib sa kontaminasyon na madaling mabawasan ang pagganap ng ani sa susunod na henerasyon na mga aparato ng semiconductor kung saan ang mga impurities ng bakas ay naglalaro ng isang kritikal na papel. Ang Semicorex ay gumagawa ng parehong pamantayan at ganap na na -customize na mga sukat ng tubo para sa anumang platform ng hurno at ginamit na resipe. Ang panloob at panlabas na diameter, haba, kapal ng dingding, at pagtatapos ng ibabaw ay lahat ng mga parameter na maaaring mangailangan ng isang pagsasaayos upang matugunan ang iba't ibang mga tiyak na thermal at mekanikal na pangangailangan; Mula sa mga laboratoryo-scale na R&D na mga hurno hanggang sa malalaking linya ng pagmamanupaktura-sa bawat kaso kung saan ang tubo ay nangangailangan ng machining, paglilinis, at inspeksyon upang masiguro ang pagganap.

Ang kontrol ng kalidad ay nagsisimula sa mga tseke ng dimensional, mga pagsubok sa materyal na density, at pagpapatunay ng pagiging maaasahan ng thermal cycle para sa bawat solong tubo ng oksihenasyon ng SIC. Ang isang malakas na materyal na sistema ng pagsubaybay ay nag -log sa produkto mula sa yugto ng hilaw na pulbos hanggang sa panghuling inspeksyon. Ang ganitong uri ng kalidad ay nagbibigay sa mga customer ng isang matatag na kamay sa pangmatagalang katatagan at muling paggawa ng aming mga tubo ng oksihenasyon ng SIC.

Piliin ang Semicorex, at kumuha ng isang kasosyo sa isang tagapagtustos na pinagsasama ang advanced na ceramic engineering na may malawak na control control at tumutugon sa teknikal na suporta sa pamamagitan ng pakikipagtulungan mula sa simula. Nalaman namin ang tungkol sa iyong tukoy na kapaligiran ng hurno, mga kinakailangan sa proseso, at mga hamon sa pagsasama upang maaari kaming mag -alok sa iyo ng mga pasadyang mga solusyon sa pagpapabuti ng iyong mga resulta ng proseso pati na rin ang oras ng tool.

Ang Semicorex sic oxidation tube ay naghahatid ng pinakamahusay na posibleng thermal na pagganap na may katatagan ng kemikal at lakas ng mekanikal. Ito ay nagiging puso ng anumang high-temperatura na sistema ng pagproseso ng SIC sa pamamagitan ng pagbibigay ng isang pantay na thermal environment sa panahon ng oksihenasyon at pagsusubo ng mga advanced na semiconductor na materyales. Para sa mga tagagawa na nangangailangan ng mga sangkap ng pugon upang maging maaasahan, malinis, at pangmatagalan, ang Semicorex ay magiging isang pagpipilian sa pagpili ng produkto na suportado ng kaalaman at karanasan pati na rin ang isang pamantayan ng paghahatid ng walang maikli sa pinakamahusay.