SiC Vacuum Chuck

Ang Semicorex SiC Vacuum Chuck ay isang espesyal na idinisenyong tool na ligtas na humahawak ng mga semiconductor wafer sa panahon ng mga kritikal na yugto ng pagproseso na may sukdulang katatagan at pagiging maaasahan. Ang CVD SiC coating ng SiC Vacuum chuck ay nagbibigay ng pambihirang mekanikal na lakas, chemical resistance, at thermal stability, na tinitiyak na ang mga pinong wafer ay protektado mula sa anumang potensyal na pinsala o kontaminasyon.

Ang natatanging kumbinasyon ng SiC Vacuum Chuck ng graphite at SiC coating ay nag-aalok ng mataas na thermal conductivity at minimal na koepisyent ng thermal expansion. Nagbibigay-daan ito sa mahusay na pagwawaldas ng init at pare-parehong pamamahagi ng temperatura sa ibabaw ng wafer. Ang mga tampok na ito ay mahalaga para sa pagpapanatili ng pinakamainam na mga kondisyon sa pagpoproseso at pagpapahusay ng ani sa mga proseso ng paggawa ng semiconductor.

Ang SiC Vacuum chuck ay katugma din sa mga vacuum na kapaligiran, na tinitiyak ang mahusay na pagdirikit sa pagitan ng chuck at ng wafer. Inaalis nito ang panganib ng pagkadulas o misalignment sa panahon ng mga operasyong may mataas na katumpakan. Ang non-porous surface at inert na katangian nito ay higit na pinipigilan ang anumang outgassing o kontaminasyon ng particle, na pinangangalagaan ang kadalisayan at integridad ng kapaligiran sa paggawa ng semiconductor.

Ang Semicorex SiC Vacuum Chuck ay isang pundasyong teknolohiya sa paggawa ng semiconductor, na nag-aalok ng walang kapantay na pagganap at tibay upang matugunan ang mga umuusbong na pangangailangan ng industriya. Ginagamit man sa lithography, etching, deposition, o iba pang kritikal na proseso, ang advanced na solusyong ito ay patuloy na muling tinutukoy ang mga pamantayan ng kahusayan sa paghawak at pagproseso ng semiconductor wafer.