Sic vertical boat

Ang Semicorex sic vertical boat ay mga inhinyero na mga wafer carrier, na dinisenyo at ginawa upang magbigay ng pinakamataas na thermal, mechanical, at kemikal na katatagan para sa pagproseso ng vertical pugon semiconductor. Itinayo ng mataas na kadalisayanSilicon Carbide, naniniwala kami na ang mga ito ang pinakamahusay na balanse ng lakas, tibay, at kalinisan para sa napaka -advanced na wafer thermal processing, na nabanggit bilang oksihenasyon, pagsasabog, LPCVD, at pagsusubo sa mga vertical na sistema ng hurno.

Ang mga vertical na kapaligiran sa pagproseso ng hurno ay nangangailangan ng isang sistema ng suporta ng wafer na maaaring makatiis ng paulit-ulit na mga exposure sa mataas na temperatura, madalas na lumampas sa 1,200 ° C, at manatiling dimen-si-sion na matatag nang walang mga isyu sa kontaminasyon. Ang Sic vertical boat ay higit sa kanilang katatagan sa mga sitwasyong ito dahil sa intrinsic mechanical at thermal properties ng recrystallized o CVD silikon na karbida. Ang kanilang sobrang mababang koepisyent ng pagpapalawak ng thermal ay nagsisiguro ng kaunting warpage o pagbaluktot dahil sa mabilis na thermal cycling. Bilang karagdagan, ang mataas na thermal conductivity, ay nag-aalok ng pinakadakilang homogeneity ng lokal na temperatura sa lahat ng mga wafer, na kritikal para sa wafer-to-wafer na pagkakapare-pareho sa kapal ng layer, mga profile ng doping, at pagganap ng elektrikal; Mahahalagang aspeto ng mataas na dami ng pagmamanupaktura sa industriya ng semiconductor.

Kumpara sa tradisyonal na mga bangka ng kuwarts, ang SIC vertical boat ay naghahatid ng mahusay na lakas ng mekanikal at pinalawak na buhay ng serbisyo. Ang Quartz ay may posibilidad na maging malutong at i -devitrify sa paglipas ng panahon, lalo na sa mga agresibong chemistries ng pugon, na humahantong sa mas mataas na mga gastos sa kapalit at mga potensyal na pagkagambala sa paggawa. Sa kaibahan, pinapanatili ng silikon na karbida ang integridad nito kahit na matapos ang matagal na pagkakalantad sa mga kinakaing unti -unting gas tulad ng klorin, HCl, o ammonia, na karaniwan sa iba't ibang mga proseso ng pagsasabog at LPCVD. Ang pambihirang pagsusuot at paglaban ng oksihenasyon ay lubos na binabawasan ang henerasyon ng butil, na tumutulong upang mapangalagaan ang mga wafer na ibabaw mula sa kontaminasyon at pagbuo ng depekto.

Nag-aalok din ang SIC vertical boat ng isang makabuluhang benepisyo sa mga tuntunin ng pagproseso ng ultra-malinis. Ang mataas na kadalisayan na materyal na SIC ay naproseso sa ilalim ng mahigpit na kasipagan upang mabawasan ang mga makikilalang bakas na kontaminado na mga metal na maaaring makagambala sa mga katangian ng pagpapatakbo ng mga aparato ng semiconductor. Ang mga ibabaw ng SIC vertical boat ay maayos na natapos sa mga tampok na kanang-anggulo na mabawasan ang pagkakataon ng pagpapadanak ng micro-particle. Ang mga ibabaw ng sic ay kemikal na hindi gumagalaw at hindi gumanti sa mga proseso ng gas at samakatuwid ay hindi gaanong madaling kapitan ng kontaminasyon. Sa paggalang na ito, ang SIC vertical boat ay mahusay na angkop para sa harap na dulo ng linya (FEOL) at ang back end of line (beol) wafer processing operations.

Nag -aalok din ang SIC Vertical Boats ng kakayahang umangkop sa disenyo. Ang bawat vertical na bangka ay maaaring maging tiyak na disenyo upang mapaunlakan ang maraming mga wafer diameters (150 mm, 200 mm o 300 mm wafers) at slot number at spacing ay maaaring magamit upang matugunan ang mga kinakailangan sa proseso. Ang katumpakan machining at dimensional control ay nagbibigay-daan para sa wastong wafer alignment at suporta ng wafer na binabawasan ang posibilidad ng anumang mga micro-scratches o mga bitak ng stress sa panahon ng pag-load, pagproseso at pag-load. Gayundin, kung ang higit na mahusay na pagkakapareho ng temperatura at / o mas kaunting thermal mass ay kinakailangan para sa isang partikular na proseso, ang na -optimize na mga geometry at disenyo ng slot ay maaaring isama sa mga pagsasaayos ng vertical na bangka, nang hindi sinasakripisyo ang anumang mga mekanikal na katangian.

Ang isa pang bentahe ay ang pagpapanatili at kahusayan sa pagpapatakbo. Ang mahigpit na pagtatayo ngSicAng mga patayong bangka ay binabawasan ang oras at dalas ng kapalit, sa gayon ay binabawasan ang downtime o gastos ng pagmamay -ari. Ang thermal shock resistance ng SIC ay nagbibigay -daan para sa mas maiikling mga siklo ng pag -init at paglamig upang maihatid ang mas mataas na throughput sa mga linya ng produksyon. Ang pagpapanatili o paglilinis ng SIC vertical boat ay napaka -simple; Ang materyal ay maaaring matiis ang karamihan sa maginoo na basa o tuyo na mga proseso ng paglilinis na karaniwang sa mga semiconductor na tela tulad ng paglilinis ng kemikal na may mga acid at high-temperatura na bake-out.

Sa modernong edad na ito ng sopistikadong katha ng semiconductor kung saan ang pagpapabuti ng ani, control control at katatagan sa proseso ay may kahalagahan, ang SIC vertical boat ay nag -aalok ng isang tunay na kalamangan sa teknolohikal. Mahusay na nakikitungo sila sa mga pisikal at kemikal na mga hamon ng mga vertical na aplikasyon ng hurno at nag -ambag sa pangkalahatang pag -optimize ng proseso sa pamamagitan ng paghahatid ng integridad ng wafer, pare -pareho ang mga resulta at mas mahabang buhay ng kagamitan.