Mga SiC Vertical na Bangka

Ang Semicorex SiC Vertical Boats ay mga engineered wafer carrier, na idinisenyo at ginawa upang magbigay ng pinakamataas na thermal, mechanical, at chemical stability para sa vertical furnace semiconductor processing. Binuo ng mataas na kadalisayansilikon karbid, naniniwala kami na sila ang pinakamahusay na balanse ng lakas, tibay, at kalinisan para sa napaka-advance na pagpoproseso ng wafer thermal, na kilala bilang oxidation, diffusion, LPCVD, at annealing sa mga vertical furnace system.

Ang vertical furnace processing environment ay nangangailangan ng wafer support system na makatiis ng paulit-ulit na pagkakalantad sa mataas na temperatura, kadalasang lumalagpas sa 1,200°C, at mananatiling dimen-sionally stable nang walang mga isyu sa kontaminasyon. Ang SiC Vertical Boats ay mahusay sa kanilang tibay sa mga sitwasyong ito dahil sa mga intrinsic na mekanikal at thermal na katangian ng recrystallized o CVD silicon carbide. Ang kanilang napakababang thermal expansion coefficient ay nagsisiguro ng minimal na warpage o distortion dahil sa mabilis na thermal cycling. Bukod pa rito, ang mataas na thermal conductivity, ay nag-aalok ng pinakamalaking lokal na homogeneity ng temperatura sa lahat ng mga wafer, na kritikal para sa pagkakapare-pareho ng wafer-to-wafer sa kapal ng layer, doping profile, at electrical performance; mahahalagang aspeto ng paggawa ng mataas na dami sa industriya ng semiconductor.

Kung ikukumpara sa mga tradisyunal na quartz boat, ang SiC Vertical Boats ay naghahatid ng superyor na mekanikal na lakas at pinahabang buhay ng serbisyo. Ang quartz ay may posibilidad na maging malutong at mag-devitrify sa paglipas ng panahon, lalo na sa mga agresibong furnace chemistries, na humahantong sa mas mataas na gastos sa pagpapalit at potensyal na pagkaantala sa produksyon. Sa kabaligtaran, pinapanatili ng silicon carbide ang integridad nito kahit na pagkatapos ng matagal na pagkakalantad sa mga corrosive na gas tulad ng chlorine, HCl, o ammonia, na karaniwan sa iba't ibang proseso ng diffusion at LPCVD. Ang pambihirang pagkasira nito at paglaban sa oksihenasyon ay lubos na nakakabawas sa pagbuo ng particle, na tumutulong na mapangalagaan ang mga ibabaw ng wafer mula sa kontaminasyon at pagbuo ng depekto.

Nag-aalok din ang SiC Vertical Boats ng makabuluhang benepisyo sa mga tuntunin ng ultra-clean processing. Ang high-purity na SiC na materyal ay pinoproseso sa ilalim ng mahigpit na pagsusumikap upang mabawasan ang mga makikilalang bakas na nakakahawa sa mga metal na maaaring makagambala sa mga katangian ng pagpapatakbo ng mga semiconductor device. Ang mga ibabaw ng SiC Vertical Boat ay mahusay na natapos na may mga tampok na right-angled na nagpapaliit sa posibilidad ng pagdanak ng mga micro-particle. Ang mga ibabaw ng SiC ay chemically inert at hindi tumutugon sa mga prosesong gas at samakatuwid ay hindi gaanong madaling kapitan ng kontaminasyon. Sa bagay na ito, ang SiC Vertical Boats ay angkop na angkop para sa front end of line (FEOL) at sa back end of line (BEOL) na mga operasyon sa pagpoproseso ng wafer.

Nag-aalok din ang SiC Vertical Boats ng flexibility ng disenyo. Ang bawat Vertical Boat ay maaaring maging partikular sa disenyo upang tumanggap ng maraming diyametro ng wafer (150 mm, 200 mm o 300 mm na mga wafer) at maaaring gamitin ang numero at espasyo ng slot upang matugunan ang mga kinakailangan sa proseso. Ang precision machining at dimensional na kontrol ay nagbibigay-daan para sa wastong pag-align ng wafer at suporta ng wafer na nagpapaliit sa posibilidad ng anumang micro-scratches o stress crack habang naglo-load, nagpoproseso at nag-aalis. Gayundin, kung kinakailangan ang superyor na pagkakapareho ng temperatura at/o mas kaunting thermal mass para sa isang partikular na proseso, ang mga naka-optimize na geometries at mga disenyo ng slot ay maaaring isama sa mga configuration ng SiC Vertical Boat, nang hindi isinasakripisyo ang anumang mekanikal na katangian.

Ang isa pang bentahe ay pagpapanatili at kahusayan sa pagpapatakbo. Ang matibay na konstruksyon ngSiCBinabawasan ng Vertical Boats ang oras at dalas ng pagpapalit, sa gayon ay pinapaliit ang downtime o halaga ng pagmamay-ari. Ang thermal shock resistance ng SiC ay nagbibigay-daan para sa mas maikling mga cycle ng pag-init at paglamig upang makapaghatid ng mas mataas na throughput sa mga linya ng produksyon. Ang pagpapanatili o paglilinis ng SiC Vertical Boats ay napaka-simple din; kayang tiisin ng materyal ang karamihan sa mga karaniwang proseso ng wet o dry cleaning na karaniwan sa mga semiconductor fab gaya ng paglilinis ng kemikal na may mga acid at high-temperature na bake-out.

Sa modernong panahon na ito ng sopistikadong semiconductor fabrication kung saan ang pagpapabuti ng ani, kontrol sa kontaminasyon at katatagan sa proseso ay may lahat ng kahalagahan, ang SiC Vertical Boats ay nag-aalok ng isang tunay na teknolohikal na kalamangan. Nakikitungo sila nang maayos sa pisikal at kemikal na mga hamon ng mga aplikasyon ng vertical furnace at nag-aambag sa pangkalahatang pag-optimize ng proseso sa pamamagitan ng paghahatid ng integridad ng wafer, pare-parehong mga resulta at mas mahabang buhay ng kagamitan.