SiC Wafer Boat

Nagbibigay ang Semicorex ng mga wafer boat, pedestal, at custom na wafer carrier para sa parehong vertical / column at horizontal configuration. Kami ay tagagawa at tagapagtustos ng silicon carbide coating film sa loob ng maraming taon. Ang aming SiC Wafer Boat ay may magandang bentahe sa presyo at sumasaklaw sa karamihan ng mga European at American market. Inaasahan naming maging iyong pangmatagalang kasosyo sa China.

Magpadala ng Inquiry

Paglalarawan ng Produkto

Ipinapakilala ang aming mataas na kalidad na SiC Wafer Boat, na idinisenyo upang magbigay ng maaasahang solusyon para sa pagpoproseso ng wafer sa iba't ibang industriya. Ang mga ceramic pedestal na ito ay ginawa gamit ang high-purity ceramics, na nag-aalok ng mahusay na pagtutol sa thermal shock, abrasion, at chemical corrosion, na ginagawang perpekto ang mga ito para sa malupit na kapaligiran sa pagpoproseso ng wafer.
Ang aming mga SiC Wafer Boats ay lubos na nako-customize, at maaari kaming makipagtulungan sa iyo upang lumikha ng mga custom na pedestal upang matugunan ang iyong mga natatanging detalye. Ipinagmamalaki namin ang aming kakayahang maghatid ng mataas na kalidad, maaasahang mga produkto na nakakatugon sa mga hinihingi ng aming mga customer. Ang aming mga Ceramic Wafer Boat ay ginawa upang tumagal at nag-aalok ng mahabang buhay ng serbisyo, na tinitiyak na masulit mo ang iyong puhunan.
Umorder na at maranasan ang mga benepisyo ng aming de-kalidad na SiC Wafer Boat sa iyong mga operasyon sa pagpoproseso ng wafer.

Mga Parameter ng SiC Wafer Boat

Teknikal na Katangian
Index	Yunit	Halaga
Pangalan ng Materyal		Reaksyon na Sintered Silicon Carbide	Walang Pressure na Sintered Silicon Carbide	Recrystallized Silicon Carbide
Komposisyon		RBSiC	SSiC	R-SiC
Bulk Densidad	g/cm3	3	3.15 ± 0.03	2.60-2.70
Flexural na Lakas	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
Lakas ng Compressive	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Katigasan	Pindutan	2700	2800	/
Pagsira sa Tenacity	MPa m1/2	4.5	4	/
Thermal Conductivity	W/m.k	95	120	23
Coefficient ng Thermal Expansion	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Tukoy na init	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Pinakamataas na temperatura sa hangin	℃	1200	1500	1600
Elastic Modulus	Gpa	360	410	240

Mga Tampok ng SiC Wafer Boat

- CVD Silicon Carbide coatings upang mapabuti ang buhay ng serbisyo.
- Thermal insulation na gawa sa high-performance na purified rigid carbon.
- Magkaroon ng mataas na thermal conductivity, at mahusay na mga katangian ng pamamahagi ng init.
- High-purity ceramic at SiC coating para sa pinhole resistance at mas mataas na buhay